��ʽ���m���ij��m�C��
��ʽ���m����һ�N��ʽ�ĸ�Ч���m�����������w�S������^�V�����M�г��m,����1.0μm�ķۉm,��Ч�ʸ��_98��һ99�����V��ͨ�����ɈA���Σ�ֱ����125—500mm��,���ЕrҲ���ɱ��L����,���V���L��һ���2m���ҡ������,�����ڸߜ؞V�Ϻ���Ҽ��g(sh��)�İl(f��)չ,����ʽ���m����ұ��ˮ��,�����W(xu��),���մɡ�ʳƷ�Ȳ�ͬ�Ĺ��I(y��)���T�õ��V����(y��ng)��,�����ڴ�ʽ���m���ij��mЧ�ʸ�,����������՚�ĺ��m������_���l(w��i)����(bi��o)��(zh��n)��Ҫ��ֱ�ӷ���܇�g��ѭ�h(hu��n)ʹ��,���Թ�(ji��)ʡ����,��С�ʹ�ʽ���m�C�M�����@�ӹ����ġ�
1���^�V�C��
��ʽ���m��ͨ�^����,��ë,�������w�S�����ӹ��ɵĞV�ρ��M���^�V����Ҫ�����V�ϱ����γɵķۉm���Ӻͼ��m���M���^�V����,����ͨ�^���NЧ��(y��ng)�����ۉm,��
��1���Y�VЧ��(y��ng)����(d��ng)�ۉm�������ȞV�Ͽ�϶��V���ϵij��ӿ�϶��r,���ۉm�㱻��������
��2���T����ײЧ��(y��ng)�����m���w���^�V�ϕr,���m���ڑT�����������c�V����ײ��������,��
��3���UɢЧ��(y��ng)���ռ��ۉm���ڲ����\���c�V�Ͻ��|����������
�^�V�^����D5-6-1��ʾ,�����m���wͨ�^�V�ϕr,���S���������˞V�σ�(n��i)����ʹ�w�S�g���g��u�pС,����K�γɸ����ڞV�ϱ���ķۉm�ӣ��Q����ӣ�,����ʽ���m�����^�V������Ҫ�������@�����Ӽ��Ժ���u�ѷe�����ķۉm���M�еġ��@�r�ĞV��ֻ�������γɳ��Ӻ�֧�����ĹǼ�����,���S���ۉm�ڞV���ķe��,���V���ɂ�(c��)�ĉ������ۉm�Ӄ�(n��i)���Ŀ�϶׃С,���՚�ͨ�^�V�Ͽ��ەr����������,���@�ӕ���ճ���ڿp϶�g�ĉm�����ߣ�ʹ���mЧ���½�,�����������^��,����ʹ�V�����ړp�ģ�ͨ�L(f��ng)ϵ�y(t��ng)�L(f��ng)��һ��,����˳��m���\��һ�Εr�g��,��Ҫ���r�M����ң���ҕr�����Ɖij���,������Ч���½�,��
�D5-6-2��ʾ���ʽ���m���ķּ�Ч�����������ڞV�ϱ����ľW(w��ng)���^��,��һ���20��50μm,��������q�ĞV�ϼs��5��10μm�����,���V���ij��mЧ���Dz��ߵ�,����1μm�ĉm��ֻ��40�����ң��S���ۉm�ӵ��γ�,���ۉm�ӳɞ���Ҫ���^�V����,�����mЧ������ߡ����ڴ�ʽ���m����Ҫ�����ۉm�Ӂ��^�V�����ۉm,�����,����ʹ�W(w��ng)���^��ĞV����ֻҪ�O(sh��)Ӌ����,����1μm���ҵĉm��Ҳ�ܵõ��^�ߵij��mЧ��,��
![]() |
![]() |
�D5-6-1�V�ϵ��^�V���� �D5-6-2��ʽ���m���ּ�Ч��
2���V�ϵ��A(y��)�����^�V���g(sh��)
�ڂ��y(t��ng)�Ĵ�ʽ���m����ʹ���A(y��)�ȸ���һ�ӷۉm�ӣ��Q���A(y��)���ӣ�,��ͨ�^�A(y��)���Ӳ��ϵ�����������,������Ч��(y��ng)�����I(y��)�U���еĚ�,��Һ����Ⱦ���A(y��)�ȃ�����Ȼ���ٰџ����еĹ�����Ⱦ��ͬ�rȥ��,���@�N���g(sh��)�Q���A(y��)�����^�V���g(sh��)���������X늽��^�����a(ch��n)���ğ�����,�������зۉm��,��߀��һ�����ķ�����͞r�����ȡ,����Բ��������X��ĩ�����A(y��)���Ӳ���,�����������X��ĩ�������䟟�������Ч��(y��ng)�ͷ۠���r�����ĸ��x���ã��_����Ч,����(w��n)��̎���X늽⟟���Ŀ��,�����ð���ʯ��ĩ���A(y��)���Ӳ����M�Оr�������ʽ�^�V������Ҳȡ�����õ�Ч��,��Ŀǰ����(n��i)�ⶼ�ڷe�O�о��_�l(f��)��헼��g(sh��),��ʹ��õ����V���đ�(y��ng)�ã���̎����SO2�ğ����,�����ڸ�ճ�Էۉm�������\�ۉm,�������A(y��)���Ӽ��g(sh��)̎������ʹ���m�������½�,��Ч�����,��

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”