Ultrapure-100��������Ĺ��ϵ�y(t��ng),��Ӌ��(sh��)��ͨӍ�·��һ�����ص����ٿ���ϵ�y(t��ng),�����еĶ�������һ���ܝM����N��(y��ng)�á�������DI water����S��(n��i)�O(ji��n)�أ�����ϵ�y(t��ng)�����ٳ��^of 1.0 L/min,���@�ӽY(ji��)�����зdz,������ϴ���֏�(f��)�r�g�����_������,�������ڄӑB(t��i)����ډ���. 

Ultrapure-100��һ��������������ϵ�y(t��ng),���؄e���ڰ��b�򼯳ɵ��F(xi��n)��ϵ�y(t��ng)�С���FMS��facility monitoring system ���� BMS��building management system��,��Ҳ�����x������һ�������Ĝyԇ�x��,��߀���S����õļ�������ܛ���� 

���c�� 

0.1��0.2μm�Ę�(bi��o)��(zh��n)�w���ߴ�,������0.1��5.0μm������(n��i)���� 

�O�õ��������ƺ̈́ӑB(t��i)����ډ����{(di��o)��(ji��)�߂�O����坍�ͻ֏�(f��)�r�g 

�����ٱ��C�˿��ٵ���ϴ�r�g 

��(y��u)��������{(di��o)��(ji��),��һ�w���O(sh��)Ӌ���C�˵;S�o�� 

���������\�࣬�w��Ӌ��(sh��)ܛ������ȫ�Ŀ�׷��NIST��(bi��o)��(zh��n)4-20mAݔ��

��(y��ng)��

��Ӱ댧(d��o)�w���쳬��ˮϵ�y(t��ng)�w��Ӌ��(sh��)�z�y 

���ܣ� 

�y�������ߴ磨μm����0.1,0.2 ϵ�y(t��ng)����>1L/min 

��Ʒ���� 10ml/min, ��Ʒ�����O(sh��)��30-100psig 

��Դ���ü�����O��