CVD/CHD�ɾ�ʽ��������

��;�� ��ˮ̎��S���༰������͡�����Uˮ�����S��ˮ����,��

���c�� 1���ɾ�ʽ�Y(ji��)��(g��u)��춰��b�S�o���B(y��ng),�����b�F(xi��n)�����g��С�����֮��ͬ,����ʽ�Q�S���Pʽ�M�S�ɷN��ʽ�ɹ��x��,��

2���~݆�鲻�����ͽY(ji��)��(g��u),��ʹ�����p��ͨ�^,ʹ�������¶���,�M�bǰ����(j��ng)�^��ƽ��У����

3�����w���Q�Sʽ֮���돝�ܾ��O(sh��)���������֮�����w,��횲�ж���ּ����p��������Ｐ����,���ڶ��r���B(y��ng),�p�ٹ��ϵęC��,��

4��ʹ��ȫ���]�L���S��,�ɳ��ܱ��ֹ����r���a(ch��n)��֮�S������,��

5�����ÙCе�ܷ�,���Cе�ܷ���|(zh��)��SiC-SiC��