�μ�(j��)���B�O(sh��)����ˮ̎���еđ�(y��ng)���cע�����(xi��ng)
��Դ�����B����ˮ�O(sh��)������˾ ��x��3270 ���r(sh��)�g��2012-08-31 16:09�μ�(j��)���B�O(sh��)�����\(y��n)���r(sh��)�Ĺ�ˇ���̾��w���£�ԭˮ��→���ӻ�����→ԭˮ��→����|(zh��)�^�V��→ȥ�����x���Լ��ЙC(j��)��→ܛ��ˮ�O(sh��)��/��ˎ�蹸�b��→�����^�V��→���⾀������
���B��ˇ�ڼ�ˮ,������ˮ�Ƃ�ϵ�y(t��ng)�����еđ�(y��ng)��,����������ˮa(ch��n)ˮƷ�|(zh��),�������a(ch��n)�ɱ�,���ҷ�ֹ�h(hu��n)����Ⱦ,���������M(j��n)����ӹ��I(y��)���M(j��n)��,ͬ�r(sh��)Ҳ���M(j��n)�˼�ˮ,������ˮ���켼�g(sh��)�İl(f��)չ.
���B������ИI(y��)�đ�(y��ng)��
���Ԫ������������Ҫ������Ʒ�|(zh��)�ļ�ˮ,������ˮ,��Ӽ�(j��)����ˮ��Ŀǰ�����ϼ���Ʒ�|(zh��)Ҫ����ߵ�ˮ.��ӹ��I(y��)�õij���ˮ,������V���������a(ch��n)Ӌ(j��)��C(j��)Ӳ�P�������·оƬ,���댧(d��o)�w,���@��ܣ�Һ���@ʾ��,����·����õļ�ˮ,����(du��)ˮ�ļ���Ҫ���^�ߣ���(du��)��ˮ����ʵ�Ҫ���_(d��)����(MΩ.cm)��(j��),��
�S����ӹ��I(y��)�İl(f��)չ��(du��)��ˮ�����Խ��Խ�ߵ�Ҫ��,�����磬����16KλDRAM���Sˮ��TOC(���ЙC(j��)̼)��500ppb,�������x�Ӟ�1ppb,��≥0.2μm���w����100��(g��)/����;������16MλDRAM�r(sh��)���tҪ��TOC<5ppb,�������x��<0.2ppb,��ˮ��≥0.1μm�w����(sh��)��0.6��(g��)/�����μ�(j��)���B�O(sh��)��,��ˮ̎���O(sh��)��,������ˮ̎���O(sh��)��
�����f����Ӽ�(j��)����ˮ�Ƃ�ϵ�y(t��ng)�ЅR���ˮ�(d��ng)ǰˮ̎�����g(sh��)�����M(j��n)�Ĺ�ˇ���O(sh��)��,�糬�V,���V�����B,��ĤÓ��,���ȥ�x��(EDI)��,���з��B�b��������(g��)��ˮ������ˮ�Ƃ�ϵ�y(t��ng)������һ�P(gu��n)�I���O(sh��)��.������Ч��ȥ��ԭˮ��97%���ϵ��ܽ��ԟo�C(j��)���|(zh��),��99%���ϵ�����(du��)�����|(zh��)������300���ЙC(j��)��,��99%���ϵİ�����(x��)���ڃ�(n��i)�ĸ��N����95%���ϵĶ��Ȼ���.
���B��ˇ�ڼ�ˮ������ˮ�Ƃ�ϵ�y(t��ng)�����еđ�(y��ng)��,����������ˮa(ch��n)ˮƷ�|(zh��),�������a(ch��n)�ɱ�,���ҷ�ֹ�h(hu��n)����Ⱦ,���������M(j��n)����ӹ��I(y��)���M(j��n)��,ͬ�r(sh��)Ҳ���M(j��n)�˼�ˮ,������ˮ���켼�g(sh��)�İl(f��)չ.
���҇�(gu��)RO��(y��ng)������ӹ��I(y��)ˮ̎���Ĉ�(b��o)��,��������ݵ�1981�꣬RO���g(sh��)�ͼ��ɹ���(y��ng)���ڴ�Ҏ(gu��)ģ�����·����ˮ�Ƃ�,���˺�,��������F(xi��n)RO��ȡ����ˮ��ˇ�����о�����Ҏ(gu��)ģ����ˮ�Ƃ�Ĉ�(b��o)����2004��4��,����(gu��)�Һ���ֺ���ˮ̎�����g(sh��)�_�l(f��)���Ğ阷���w��������������˾�O(sh��)Ӌ(j��)�ͽ��ɵ�13Om3/hRO��ɫ�@��Uˮ�����(xi��ng)Ŀ��RO��ˮ�Ƃ似�g(sh��)����ӹ��I(y��)�I(l��ng)��(y��ng)�õ���չ,��ԓ�(xi��ng)Ŀ�������҇�(gu��)��һ��(g��)�^��Ҏ(gu��)ģ�M(j��n)�в�ɫ�@������a(ch��n)��I(y��)�Uˮ�����(xi��ng)Ŀ��
��������Ҫ���ڳ�ȥˮ��С�����đҸ����z�w,����?y��n)��@ЩС���w����ˮ���y�Գ���,�������y��ȥ��������ͨ�^��ԭˮ��Ͷ�ӻ�����,��ʹ֮�cˮ�БҸ��P�z�w�����^����Ƭ,��Ȼ��ͨ�^����|(zh��)�^�V���^�Vȥ������(d��ng)ԭˮ���F�ĺ����͑Ҹ���ĺ����^С�r(sh��),���A(y��)̎�����Բ����ô��b��,����(d��ng)ˮ�БҸ��P�z�w���|(zh��)�ĺ������^�ߕr(sh��)��һ����Ҫʹ�û����������b��,��
�μ�(j��)���B�O(sh��)�乤ˇ�����cʹ��ע�����(xi��ng)
�μ�(j��)���B�O(sh��)�����\(y��n)���r(sh��)�Ĺ�ˇ���̾��w���£�ԭˮ��→���ӻ�����→ԭˮ��→����|(zh��)�^�V��→ȥ�����x���Լ��ЙC(j��)��→ܛ��ˮ�O(sh��)��/��ˎ�蹸�b��→�����^�V��→���⾀�������μ�(j��)���B�O(sh��)��,��ˮ̎���O(sh��)��,������ˮ̎���O(sh��)��
һ��ԭˮ��,��
ԭˮ�����ڃ�(ch��)��ԭˮ,���pС��?y��n)�ԭˮ����ˮ������(w��n)����(du��)ˮ̎��ϵ�y(t��ng)��ɵě_����ͬ�r(sh��)���ڳ�������ˮ�еĴ���ɳ�w���������ɳ������|(zh��),��
��,�����ӻ�������
��������Ҫ���ڳ�ȥˮ��С�����đҸ����z�w,����?y��n)��@ЩС���w����ˮ���y�Գ���,�������y��ȥ��,������ͨ�^��ԭˮ��Ͷ�ӻ�������ʹ֮�cˮ�БҸ��P�z�w�����^����Ƭ,��Ȼ��ͨ�^����|(zh��)�^�V���^�Vȥ��,����(d��ng)ԭˮ���F�ĺ����͑Ҹ���ĺ����^С�r(sh��)���A(y��)̎�����Բ����ô��b��,����(d��ng)ˮ�БҸ��P�z�w���|(zh��)�ĺ������^�ߕr(sh��),��һ����Ҫʹ�û����������b�á�
��,��ԭˮ��,��
ԭˮ�ÿ��Ժ㶨ϵ�y(t��ng)��ˮ��������(w��n)����ˮ��,��
��,������|(zh��)�^�V����
���ö���^�V�ӵ��^�V��,����ҪĿ����ȥ��ԭˮ���w����20um���ϵ��s�|(zh��),�����x���ք�(d��ng)�y�T���ƻ���ȫ�Ԅ�(d��ng)�������M(j��n)�з��_ϴ�����_ϴ��һϵ�в���,�����C�O(sh��)��Įa(ch��n)ˮ�|(zh��)��,�����L(zh��ng)�O(sh��)���ʹ�É������μ�(j��)���B�O(sh��)��,��ˮ̎���O(sh��)��,������ˮ̎���O(sh��)��
�塢��ȥˮ�����x�Ⱥ��ЙC(j��)��,��
���x�ȿ��������Ɖķ��BĤ,�����B�O(sh��)��һ��Ҫ���M(j��n)ˮ����<0.1ppm;�ЙC(j��)�ﲻ�H��������D�ϣ����Ү�(d��ng)���s��һ���̶Ⱥ�,�������ܽ��ЙC(j��)Ĥ����,��ʹĤ�����ӻ���ˮ���ЙC(j��)��N���,����ͬ���ЙC(j��)�(du��)���BĤ��Σ��Ҳ��һ��,������ڷ��B�A(y��)̎��ϵ�y(t��ng)�O(sh��)Ӌ(j��)�r(sh��)�����ˮ�п��ЙC(j��)̼(TOC)�ĺ������^2mg/L,��һ����Ҫ�M(j��n)��̎��,����(du��)�����ԁ�ˮ��ˮԴ�ă���ϵ�y(t��ng)������̿�����DZ�Ҫ��,����?y��n)�ر�ˮ���ЙC(j��)�ﺬ���^��,��
���ڻ���̿�������O(sh��)�了(ji��n)�Σ�Ͷ�YС,���\(y��n)�в�����(ji��n)��,��̎��Ч�������Ƶȃ�(y��u)�c(di��n),�����ԏV���đ�(y��ng)����ˮ̎�����ϵ�y(t��ng)�С�
��,��ܛ��ˮ�O(sh��)��/��ˎ�蹸�b��,��
ܛ���������x�ӽ��Q��֬�cˮ�е��}�V���x���M(j��n)�н��Q����ˮ�е��}�V�x��ȥ��,��ܛ���ă�(y��u)�c(di��n)�ǿ��Ա��^�ص�ȥ��ˮ���}�V�x��,������ �@Щ�x���ڷ��B�b���нY(ji��)������ȱ�c(di��n)���O(sh��)��Ͷ�Y��,���\(y��n)�е�һ���r(sh��)�g����Ҫ�M(j��n)������,��
�����蹸�������Ӿ��}���w���L(zh��ng)�����t�����^�̣����ô˷���Ҳ�ɷ�ֹ���B�ĽY(ji��)����Ⱦ,�����������}�V�x����Ȼ������ˮ��,�����B��ˮ���}�V�x�ӕ�(hu��)��ʹ��ܛ��Ҫ�ߣ������ü�ˎ�蹸�ķ�ʽ�^��(sh��)�F(xi��n)�Ԅ�(d��ng)������,�����O(sh��)�了(ji��n)�γɱ��^��,������ʹ���蹸��߀���Ԝp���������ܛ���t����,���@һ�c(di��n)�dz��m�ϵ���ˮˮԴ̎��,��ܛ���O(sh��)ʩ�ijɱ��c�����������P(gu��n)ϵ�����蹸�������O(sh��)ʩ�ijɱ��c�����P(gu��n)ϵ����,�����,���p��(j��)���B������ϵ�y(t��ng)��������蹸������ϵ�y(t��ng),��
��,�������^�V����
�������ǽ���ԭˮ�еĴ���5���w��,���Ա��C���BĤ�������w���đҸ����,���μ�(j��)���B�O(sh��)�䣬ˮ̎���O(sh��)��,������ˮ̎���O(sh��)��
��?y��n)鷴�BĤ�ĺ�ȼs��10������,��ԭˮ���^����w����(j��ng)�߉��ü��ٺ�O�ׄ������BĤ�����Ó�}��Ƥ�ӻ���ܓ������BĤ�M�������һ�㷴�B�O(sh��)��ǰ��Ҫ���b5�����^�V��,�����þ����^�V����(du��)�M(j��n)ˮ�К����đҸ���,������ֱ���P�z�w�����|(zh��)ȥ��,��ʹRO���B�O(sh��)���\(y��n)�и���ȫ,�����ɿ���
���B�O(sh��)��ʹ��ǰ��(y��ng)ע��Ć��}
���B�O(sh��)��Ҫ�����ԁ�ˮ��ˮԴ,���Ñ��������c�ԁ�ˮ��Ӿ�ʹ��,���ڰ��b�r(sh��)�]���]�A(y��)����ϴ��;�����O(sh��)����Ԅ�(d��ng)���̶ȸ�,���Ñ������J(r��n)����������������O(sh��)��һ�ӣ��Õr(sh��)ֻҪ�_�C(j��)�P(gu��n)�C(j��)����,��ȱ�����˹���,��ʹ���^���ж��o�\(y��n)��ӛ䛻�ӛ䛲�ȫ;�\(y��n)�Еr(sh��)�����gЪʽ�����o�m��(d��ng)?sh��)ı��B(y��ng)��ʩ,��ֱ���O(sh��)��Įa(ch��n)ˮ����С����TDS�ܸߕr(sh��)�Űl(f��)�F(xi��n)���},������r(sh��)�������˕r(sh��)��ȡ��ʩ,��ͨ���O(sh��)������ֻ�ܻ֏�(f��)60%��70%��ˮƽ,������������Ópʧ;�l(f��)�F(xi��n)���}�r(sh��)�������a(ch��n)�ĸ߷��ڣ��������ͣ�a(ch��n)�Ͳ���Ҫ�Ľ�(j��ng)��(j��)�pʧ,��
ͬ�r(sh��),���҂�?c��)�ʹ��֮ǰ߀Ҫע���������أ�
���ȣ��Ԃ�һ�����ȱ�ɫ�y(c��)��Ӌ(j��),��Ŀǰ��ʹ�õķ��B�O(sh��)���Ĥ����͉��ľ�����Ĥ,��ԓĤ��ʹ���в����ȣ��������ؽ����x�ӵ�������,����������������Եēp��;�ԁ�ˮ�ຬ�ؽ����x��,���ڻ���̿ʧЧ�O�דp��Ĥ,���ԁ�ˮ���Ⱥ��ЙC(j��)��ĺ�����׃����,���H�H��Ӌ(j��)���Ӌ(j��)�Dz���ģ�����̿��ʧЧҪ�Ԝy(c��)ԇ���(zh��n),���@�Ӽȿɱ����^����Q�����M(f��i)���^�t���Q�����Ĥ�p��,��ԓ��ɫӋ(j��)�ăr(ji��)����ˣ�����Ҳ����,�,�����Ӌ(j��)��ĸ��Q��ǰ10d�_ʼÿ��y(c��)����
�μ�(j��)���B�O(sh��)����ˮ̎���еđ�(y��ng)���cע�����(xi��ng)
�μ�(j��)���B�O(sh��)�����\(y��n)���r(sh��)�Ĺ�ˇ���̾��w���£�ԭˮ��→���ӻ�����→ԭˮ��→����|(zh��)�^�V��→ȥ�����x���Լ��ЙC(j��)��→ܛ��ˮ�O(sh��)��/��ˎ�蹸�b��→�����^�V��→���⾀����,��
���B��ˇ�ڼ�ˮ,������ˮ�Ƃ�ϵ�y(t��ng)�����еđ�(y��ng)��,����������ˮa(ch��n)ˮƷ�|(zh��),�������a(ch��n)�ɱ�,���ҷ�ֹ�h(hu��n)����Ⱦ,���������M(j��n)����ӹ��I(y��)���M(j��n)��,ͬ�r(sh��)Ҳ���M(j��n)�˼�ˮ������ˮ���켼�g(sh��)�İl(f��)չ.�μ�(j��)���B�O(sh��)��,��ˮ̎���O(sh��)��,������ˮ̎���O(sh��)��
���B������ИI(y��)�đ�(y��ng)��
���Ԫ������������Ҫ������Ʒ�|(zh��)�ļ�ˮ������ˮ,��Ӽ�(j��)����ˮ��Ŀǰ�����ϼ���Ʒ�|(zh��)Ҫ����ߵ�ˮ.��ӹ��I(y��)�õij���ˮ,������V���������a(ch��n)Ӌ(j��)��C(j��)Ӳ�P,�������·оƬ���댧(d��o)�w���@���,��Һ���@ʾ��,����·����õļ�ˮ����(du��)ˮ�ļ���Ҫ���^��,����(du��)��ˮ����ʵ�Ҫ���_(d��)����(MΩ.cm)��(j��),��
�S����ӹ��I(y��)�İl(f��)չ��(du��)��ˮ�����Խ��Խ�ߵ�Ҫ������,������16KλDRAM���Sˮ��TOC(���ЙC(j��)̼)��500ppb,�������x�Ӟ�1ppb��≥0.2μm���w����100��(g��)/����;������16MλDRAM�r(sh��),���tҪ��TOC<5ppb,�������x��<0.2ppb��ˮ��≥0.1μm�w����(sh��)��0.6��(g��)/��,��
�����f����Ӽ�(j��)����ˮ�Ƃ�ϵ�y(t��ng)�ЅR���ˮ�(d��ng)ǰˮ̎�����g(sh��)�����M(j��n)�Ĺ�ˇ���O(sh��)��,�糬�V,���V�����B,��ĤÓ��,���ȥ�x��(EDI)��,���з��B�b��������(g��)��ˮ������ˮ�Ƃ�ϵ�y(t��ng)������һ�P(gu��n)�I���O(sh��)��.������Ч��ȥ��ԭˮ��97%���ϵ��ܽ��ԟo�C(j��)���|(zh��),��99%���ϵ�����(du��)�����|(zh��)������300���ЙC(j��)��,��99%���ϵİ�����(x��)���ڃ�(n��i)�ĸ��N����95%���ϵĶ��Ȼ���.
���B��ˇ�ڼ�ˮ������ˮ�Ƃ�ϵ�y(t��ng)�����еđ�(y��ng)��,����������ˮa(ch��n)ˮƷ�|(zh��),�������a(ch��n)�ɱ�,���ҷ�ֹ�h(hu��n)����Ⱦ,���������M(j��n)����ӹ��I(y��)���M(j��n)��,ͬ�r(sh��)Ҳ���M(j��n)�˼�ˮ,������ˮ���켼�g(sh��)�İl(f��)չ.
���҇�(gu��)RO��(y��ng)������ӹ��I(y��)ˮ̎���Ĉ�(b��o)��,��������ݵ�1981�꣬RO���g(sh��)�ͼ��ɹ���(y��ng)���ڴ�Ҏ(gu��)ģ�����·����ˮ�Ƃ�,���˺�,��������F(xi��n)RO��ȡ����ˮ��ˇ�����о�����Ҏ(gu��)ģ����ˮ�Ƃ�Ĉ�(b��o)����2004��4��,����(gu��)�Һ���ֺ���ˮ̎�����g(sh��)�_�l(f��)���Ğ阷���w��������������˾�O(sh��)Ӌ(j��)�ͽ��ɵ�13Om3/hRO��ɫ�@��Uˮ�����(xi��ng)Ŀ��RO��ˮ�Ƃ似�g(sh��)����ӹ��I(y��)�I(l��ng)��(y��ng)�õ���չ,��ԓ�(xi��ng)Ŀ�������҇�(gu��)��һ��(g��)�^��Ҏ(gu��)ģ�M(j��n)�в�ɫ�@������a(ch��n)��I(y��)�Uˮ�����(xi��ng)Ŀ���μ�(j��)���B�O(sh��)��,��ˮ̎���O(sh��)��,������ˮ̎���O(sh��)��
��������Ҫ���ڳ�ȥˮ��С�����đҸ����z�w����?y��n)��@ЩС���w����ˮ���y�Գ���,�������y��ȥ��,������ͨ�^��ԭˮ��Ͷ�ӻ�������ʹ֮�cˮ�БҸ��P�z�w�����^����Ƭ,��Ȼ��ͨ�^����|(zh��)�^�V���^�Vȥ��,����(d��ng)ԭˮ���F�ĺ����͑Ҹ���ĺ����^С�r(sh��),���A(y��)̎�����Բ����ô��b�á���(d��ng)ˮ�БҸ��P�z�w���|(zh��)�ĺ������^�ߕr(sh��),��һ����Ҫʹ�û����������b�á�