�μ����B�O(sh��)����ˮ̎���еđ�(y��ng)���cע�����
��Դ�����B����ˮ�O(sh��)������˾ ��x��3286 ���r�g��2012-08-31 16:09�μ����B�O(sh��)�����\���r�Ĺ�ˇ���̾��w���£�ԭˮ��→���ӻ�����→ԭˮ��→����|(zh��)�^�V��→ȥ�����x���Լ��ЙC��→ܛ��ˮ�O(sh��)��/��ˎ�蹸�b��→�����^�V��→���⾀������
���B��ˇ�ڼ�ˮ������ˮ�Ƃ�ϵ�y(t��ng)�����еđ�(y��ng)��,����������ˮa(ch��n)ˮƷ�|(zh��),�������a(ch��n)�ɱ�,���ҷ�ֹ�h(hu��n)����Ⱦ,���������M����ӹ��I(y��)���M��,ͬ�rҲ���M�˼�ˮ,������ˮ���켼�g(sh��)�İl(f��)չ.
���B������ИI(y��)�đ�(y��ng)��
���Ԫ������������Ҫ������Ʒ�|(zh��)�ļ�ˮ,������ˮ,��Ӽ�����ˮ��Ŀǰ�����ϼ���Ʒ�|(zh��)Ҫ����ߵ�ˮ.��ӹ��I(y��)�õij���ˮ������V���������a(ch��n)Ӌ��CӲ�P,�������·оƬ,���댧(d��o)�w,���@���,��Һ���@ʾ��,����·����õļ�ˮ����ˮ�ļ���Ҫ���^��,������ˮ����ʵ�Ҫ���_����(MΩ.cm)��,��
�S����ӹ��I(y��)�İl(f��)չ����ˮ�����Խ��Խ�ߵ�Ҫ������,������16KλDRAM���Sˮ��TOC(���ЙC̼)��500ppb,�������x�Ӟ�1ppb��≥0.2μm���w����100��/����;������16MλDRAM�r,���tҪ��TOC<5ppb,�������x��<0.2ppb��ˮ��≥0.1μm�w����(sh��)��0.6��/��,���μ����B�O(sh��)��,��ˮ̎���O(sh��)�䣬����ˮ̎���O(sh��)��
�����f����Ӽ�����ˮ�Ƃ�ϵ�y(t��ng)�ЅR���ˮ�ǰˮ̎�����g(sh��)�����M�Ĺ�ˇ���O(sh��)��,�糬�V,���V,�����B��ĤÓ��,���ȥ�x��(EDI)��,���з��B�b����������ˮ,������ˮ�Ƃ�ϵ�y(t��ng)������һ�P(gu��n)�I���O(sh��)��.������Ч��ȥ��ԭˮ��97%���ϵ��ܽ��ԟo�C���|(zh��)��99%���ϵ����������|(zh��)������300���ЙC��,��99%���ϵİ��������ڃ�(n��i)�ĸ��N����95%���ϵĶ��Ȼ���.
���B��ˇ�ڼ�ˮ,������ˮ�Ƃ�ϵ�y(t��ng)�����еđ�(y��ng)��,����������ˮa(ch��n)ˮƷ�|(zh��),�������a(ch��n)�ɱ�,���ҷ�ֹ�h(hu��n)����Ⱦ,���������M����ӹ��I(y��)���M��,ͬ�rҲ���M�˼�ˮ������ˮ���켼�g(sh��)�İl(f��)չ.
���҇�RO��(y��ng)������ӹ��I(y��)ˮ̎���Ĉ��,��������ݵ�1981��,��RO���g(sh��)�ͼ��ɹ���(y��ng)���ڴ�Ҏ(gu��)ģ�����·����ˮ�Ƃ䡣�˺�,��������F(xi��n)RO��ȡ����ˮ��ˇ�����о�����Ҏ(gu��)ģ����ˮ�Ƃ�Ĉ����2004��4��,�����Һ���ֺ���ˮ̎�����g(sh��)�_�l(f��)���Ğ阷���w��������������˾�O(sh��)Ӌ�ͽ��ɵ�13Om3/hRO��ɫ�@��Uˮ�����Ŀ��RO��ˮ�Ƃ似�g(sh��)����ӹ��I(y��)�I(l��ng)��(y��ng)�õ���չ,��ԓ�Ŀ�������҇���һ���^��Ҏ(gu��)ģ�M�в�ɫ�@������a(ch��n)��I(y��)�Uˮ�����Ŀ��
��������Ҫ���ڳ�ȥˮ��С�����đҸ����z�w,������@ЩС���w����ˮ���y�Գ���,�������y��ȥ��������ͨ�^��ԭˮ��Ͷ�ӻ�����,��ʹ֮�cˮ�БҸ��P�z�w�����^����Ƭ,��Ȼ��ͨ�^����|(zh��)�^�V���^�Vȥ������ԭˮ���F�ĺ����͑Ҹ���ĺ����^С�r���A(y��)̎�����Բ����ô��b��,����ˮ�БҸ��P�z�w���|(zh��)�ĺ������^�ߕr,��һ����Ҫʹ�û����������b�á�
�μ����B�O(sh��)�乤ˇ�����cʹ��ע�����
�μ����B�O(sh��)�����\���r�Ĺ�ˇ���̾��w���£�ԭˮ��→���ӻ�����→ԭˮ��→����|(zh��)�^�V��→ȥ�����x���Լ��ЙC��→ܛ��ˮ�O(sh��)��/��ˎ�蹸�b��→�����^�V��→���⾀����,���μ����B�O(sh��)��,��ˮ̎���O(sh��)�䣬����ˮ̎���O(sh��)��
һ,��ԭˮ��,��
ԭˮ�����ڃ���ԭˮ���pС���ԭˮ����ˮ������(w��n)����ˮ̎��ϵ�y(t��ng)��ɵě_��,��ͬ�r���ڳ�������ˮ�еĴ���ɳ�w���������ɳ������|(zh��),��
�������ӻ�����,��
��������Ҫ���ڳ�ȥˮ��С�����đҸ����z�w,������@ЩС���w����ˮ���y�Գ����������y��ȥ��,������ͨ�^��ԭˮ��Ͷ�ӻ�����,��ʹ֮�cˮ�БҸ��P�z�w�����^����Ƭ��Ȼ��ͨ�^����|(zh��)�^�V���^�Vȥ��,����ԭˮ���F�ĺ����͑Ҹ���ĺ����^С�r,���A(y��)̎�����Բ����ô��b�á���ˮ�БҸ��P�z�w���|(zh��)�ĺ������^�ߕr,��һ����Ҫʹ�û����������b��,��
����ԭˮ��,��
ԭˮ�ÿ��Ժ㶨ϵ�y(t��ng)��ˮ����,����(w��n)����ˮ����
��,������|(zh��)�^�V��,��
���ö���^�V�ӵ��^�V������ҪĿ����ȥ��ԭˮ���w����20um���ϵ��s�|(zh��),�����x���ք��y�T���ƻ���ȫ�Ԅӿ������M�з��_ϴ,�����_ϴ��һϵ�в��������C�O(sh��)��Įa(ch��n)ˮ�|(zh��)��,�����L�O(sh��)���ʹ�É���,���μ����B�O(sh��)�䣬ˮ̎���O(sh��)��,������ˮ̎���O(sh��)��
��,����ȥˮ�����x�Ⱥ��ЙC��,��
���x�ȿ��������Ɖķ��BĤ�����B�O(sh��)��һ��Ҫ���Mˮ����<0.1ppm;�ЙC�ﲻ�H��������D��,�����Ү����s��һ���̶Ⱥ�,�������ܽ��ЙCĤ���ϣ�ʹĤ�����ӻ�,��ˮ���ЙC��N���,����ͬ���ЙC����BĤ��Σ��Ҳ��һ�ӣ�����ڷ��B�A(y��)̎��ϵ�y(t��ng)�O(sh��)Ӌ�r,�����ˮ�п��ЙC̼(TOC)�ĺ������^2mg/L,��һ����Ҫ�M��̎�����������ԁ�ˮ��ˮԴ�ă���ϵ�y(t��ng),������̿�����DZ�Ҫ��,�����ر�ˮ���ЙC�ﺬ���^�ߡ�
���ڻ���̿�������O(sh��)�了��,��Ͷ�YС,���\�в������Σ�̎��Ч�������Ƶȃ�(y��u)�c,�����ԏV���đ�(y��ng)����ˮ̎�����ϵ�y(t��ng)��,��
����ܛ��ˮ�O(sh��)��/��ˎ�蹸�b��,��
ܛ���������x�ӽ��Q��֬�cˮ�е��}�V���x���M�н��Q,����ˮ�е��}�V�x��ȥ����ܛ���ă�(y��u)�c�ǿ��Ա��^�ص�ȥ��ˮ���}�V�x��,������ �@Щ�x���ڷ��B�b���нY(ji��)��,����ȱ�c���O(sh��)��Ͷ�Y�ߣ��\�е�һ���r�g����Ҫ�M������,��
�����蹸�������Ӿ��}���w���L�����t�����^��,�����ô˷���Ҳ�ɷ�ֹ���B�ĽY(ji��)����Ⱦ�����������}�V�x����Ȼ������ˮ��,�����B��ˮ���}�V�x�ӕ���ʹ��ܛ��Ҫ��,�������ü�ˎ�蹸�ķ�ʽ�^���F(xi��n)�Ԅӻ����ƣ����O(sh��)�了�γɱ��^��,������ʹ���蹸��߀���Ԝp�����,����ܛ���t���ܣ��@һ�c�dz��m�ϵ���ˮˮԴ̎��,��ܛ���O(sh��)ʩ�ijɱ��c�����������P(gu��n)ϵ�����蹸�������O(sh��)ʩ�ijɱ��c�����P(gu��n)ϵ����,�����,���p�����B������ϵ�y(t��ng),��������蹸������ϵ�y(t��ng)��
��,�������^�V��,��
�������ǽ���ԭˮ�еĴ���5���w�����Ա��C���BĤ�������w���đҸ����,���μ����B�O(sh��)��,��ˮ̎���O(sh��)�䣬����ˮ̎���O(sh��)��
��鷴�BĤ�ĺ�ȼs��10������,��ԭˮ���^����w����(j��ng)�߉��ü��ٺ�O�ׄ������BĤ�����Ó�}��Ƥ�ӻ���ܓ������BĤ�M��,�����һ�㷴�B�O(sh��)��ǰ��Ҫ���b5�����^�V�������þ����^�V�����Mˮ�К����đҸ���,������ֱ���P�z�w�����|(zh��)ȥ��,��ʹRO���B�O(sh��)���\�и���ȫ�����ɿ�,��
���B�O(sh��)��ʹ��ǰ��(y��ng)ע��Ć��}
���B�O(sh��)��Ҫ�����ԁ�ˮ��ˮԴ,���Ñ��������c�ԁ�ˮ��Ӿ�ʹ�ã��ڰ��b�r�]���]�A(y��)����ϴ��;�����O(sh��)����Ԅӻ��̶ȸ�,���Ñ������J����������������O(sh��)��һ��,���ÕrֻҪ�_�C�P(gu��n)�C���У�ȱ�����˹���,��ʹ���^���ж��o�\��ӛ䛻�ӛ䛲�ȫ;�\�Еr�����gЪʽ,�����o�m��?sh��)ı��B(y��ng)��ʩ��ֱ���O(sh��)��Įa(ch��n)ˮ����С����TDS�ܸߕr�Űl(f��)�F(xi��n)���},������r����,���˕r��ȡ��ʩ��ͨ���O(sh��)������ֻ�ܻ֏�(f��)60%��70%��ˮƽ,������������Ópʧ;�l(f��)�F(xi��n)���}�r�������a(ch��n)�ĸ߷���,���������ͣ�a(ch��n)�Ͳ���Ҫ�Ľ�(j��ng)���pʧ��
ͬ�r,���҂���ʹ��֮ǰ߀Ҫע���������أ�
����,���Ԃ�һ�����ȱ�ɫ�y��Ӌ��Ŀǰ��ʹ�õķ��B�O(sh��)���Ĥ����͉��ľ�����Ĥ,��ԓĤ��ʹ���в�����,���������ؽ����x�ӵ������£���������������Եēp��;�ԁ�ˮ�ຬ�ؽ����x��,���ڻ���̿ʧЧ��,���O�דp��Ĥ���ԁ�ˮ���Ⱥ��ЙC��ĺ�����׃����,���H�H��Ӌ���Ӌ�Dz����,������̿��ʧЧҪ�Ԝyԇ���,���@�Ӽȿɱ����^����Q�����M���^�t���Q�����Ĥ�p�ġ�ԓ��ɫӋ�ăr�����,������Ҳ����,������Ӌ��ĸ��Q��ǰ10d�_ʼÿ��y��,��
�μ����B�O(sh��)����ˮ̎���еđ�(y��ng)���cע�����
�μ����B�O(sh��)�����\���r�Ĺ�ˇ���̾��w���£�ԭˮ��→���ӻ�����→ԭˮ��→����|(zh��)�^�V��→ȥ�����x���Լ��ЙC��→ܛ��ˮ�O(sh��)��/��ˎ�蹸�b��→�����^�V��→���⾀����,��
���B��ˇ�ڼ�ˮ������ˮ�Ƃ�ϵ�y(t��ng)�����еđ�(y��ng)��,����������ˮa(ch��n)ˮƷ�|(zh��),�������a(ch��n)�ɱ�,���ҷ�ֹ�h(hu��n)����Ⱦ,���������M����ӹ��I(y��)���M��,ͬ�rҲ���M�˼�ˮ,������ˮ���켼�g(sh��)�İl(f��)չ.�μ����B�O(sh��)��,��ˮ̎���O(sh��)�䣬����ˮ̎���O(sh��)��
���B������ИI(y��)�đ�(y��ng)��
���Ԫ������������Ҫ������Ʒ�|(zh��)�ļ�ˮ,������ˮ,��Ӽ�����ˮ��Ŀǰ�����ϼ���Ʒ�|(zh��)Ҫ����ߵ�ˮ.��ӹ��I(y��)�õij���ˮ,������V���������a(ch��n)Ӌ��CӲ�P�������·оƬ,���댧(d��o)�w,���@��ܣ�Һ���@ʾ��,����·����õļ�ˮ,����ˮ�ļ���Ҫ���^�ߣ�����ˮ����ʵ�Ҫ���_����(MΩ.cm)��,��
�S����ӹ��I(y��)�İl(f��)չ����ˮ�����Խ��Խ�ߵ�Ҫ��,�����磬����16KλDRAM���Sˮ��TOC(���ЙC̼)��500ppb,�������x�Ӟ�1ppb,��≥0.2μm���w����100��/����;������16MλDRAM�r���tҪ��TOC<5ppb,�������x��<0.2ppb,��ˮ��≥0.1μm�w����(sh��)��0.6��/����
�����f����Ӽ�����ˮ�Ƃ�ϵ�y(t��ng)�ЅR���ˮ�ǰˮ̎�����g(sh��)�����M�Ĺ�ˇ���O(sh��)��,�糬�V,���V,�����B��ĤÓ��,���ȥ�x��(EDI)��,���з��B�b����������ˮ,������ˮ�Ƃ�ϵ�y(t��ng)������һ�P(gu��n)�I���O(sh��)��.������Ч��ȥ��ԭˮ��97%���ϵ��ܽ��ԟo�C���|(zh��)��99%���ϵ����������|(zh��)������300���ЙC��,��99%���ϵİ��������ڃ�(n��i)�ĸ��N����95%���ϵĶ��Ȼ���.
���B��ˇ�ڼ�ˮ,������ˮ�Ƃ�ϵ�y(t��ng)�����еđ�(y��ng)��,����������ˮa(ch��n)ˮƷ�|(zh��),�������a(ch��n)�ɱ�,���ҷ�ֹ�h(hu��n)����Ⱦ,���������M����ӹ��I(y��)���M��,ͬ�rҲ���M�˼�ˮ������ˮ���켼�g(sh��)�İl(f��)չ.
���҇�RO��(y��ng)������ӹ��I(y��)ˮ̎���Ĉ����������ݵ�1981��,��RO���g(sh��)�ͼ��ɹ���(y��ng)���ڴ�Ҏ(gu��)ģ�����·����ˮ�Ƃ�,���˺�����F(xi��n)RO��ȡ����ˮ��ˇ�����о�����Ҏ(gu��)ģ����ˮ�Ƃ�Ĉ��,��2004��4�£����Һ���ֺ���ˮ̎�����g(sh��)�_�l(f��)���Ğ阷���w��������������˾�O(sh��)Ӌ�ͽ��ɵ�13Om3/hRO��ɫ�@��Uˮ�����Ŀ��RO��ˮ�Ƃ似�g(sh��)����ӹ��I(y��)�I(l��ng)��(y��ng)�õ���չ,��ԓ�Ŀ�������҇���һ���^��Ҏ(gu��)ģ�M�в�ɫ�@������a(ch��n)��I(y��)�Uˮ�����Ŀ,���μ����B�O(sh��)�䣬ˮ̎���O(sh��)��,������ˮ̎���O(sh��)��
��������Ҫ���ڳ�ȥˮ��С�����đҸ����z�w,������@ЩС���w����ˮ���y�Գ����������y��ȥ��,������ͨ�^��ԭˮ��Ͷ�ӻ�����,��ʹ֮�cˮ�БҸ��P�z�w�����^����Ƭ��Ȼ��ͨ�^����|(zh��)�^�V���^�Vȥ��,����ԭˮ���F�ĺ����͑Ҹ���ĺ����^С�r,���A(y��)̎�����Բ����ô��b�á���ˮ�БҸ��P�z�w���|(zh��)�ĺ������^�ߕr,��һ����Ҫʹ�û����������b��,��