1,���������m����һ�N�����ӟ��m�����I(y��)�U��ۉm̎�����O(sh��)Ӌ�Ŀ՚�����b��,���Y(ji��)��(g��u)���f�����m��,����Ч��Ĥ���m�Vо������̿�^�V�������õ������x���L(f��ng)�C���|��ʽ΢��X�������ȽM�ɵ�һ�������Ŀ՚����ϵ�y(t��ng),����ͬ�^�V���ܵĽM��,�����m��(y��ng)��ͬ�����Ŀ՚�����������m������,���������m���Y(ji��)��(g��u)����,���������㣬ʹ���`��,���f�����m�ܿ���������,�������Ƅӣ�����Ƅ�ʽ���w�̶ܹ������ⷽλ,����ʹ���m��ֱ�����������mԴ���������m�U���M����Ч������̎��,���V����(y��ng)���ڙCе�����,�����,����ӡ����,������,������,����ˎ��ʳƷ,��������ИI(y��)�������П��m,���ۉm��Ⱦ�Ĉ����� 
2,���������m������ԭ�������m�U�����L(f��ng)�Cؓ(f��)�����L(f��ng)ͨ�^���m�ܵ���������������m�������w��(n��i)��������,�����������c���К��������w�����m�����ڵײ����m����(n��i),��΢�����m�ɸ�Ĥ�Vо�����������,���ɻ���̿�^�V��ȥ���к����w���������w��(j��ng)�^�����^�V�ֽ������ij��L(f��ng)���ų�,�� 
3,�����������m���a(ch��n)Ʒ���c�� 
1�����ÿɻ�ӵ��f�����m��,������������,�������{(di��o)�����mλ�ã���Դ�^�_ʼ��Ч������m,�� 
2 ��һ�w���ĸ�Ч������Ĥ���m�Vо,����΢�׼����m�^�V�������m,���ۉm��0.3-0.5μm�����^�VЧ�ʿ��_99.5%����,���^�VЧ�ʸߣ�ʹ�É����L,�� 
3 ���ɸ���(j��)���m���|(zh��)�x������(y��ng)���^�Vý��,���ԝM�㲻ͬ���|(zh��)���m�ă���̎�����绯�W(xu��)���|(zh��)�ğ��m���û���̿�^�V,�����o�Ҫ��IJ����o������^�V��,�� 
4 ���Y(ji��)��(g��u)�o�����w�e�p��,���Ƅ��`��,���Vо��ϴ���Q���㡣�������w�Y(ji��)��(g��u)Ҳ�ɶ���,��