KRI ���������l�x��Դ RFICP220 �R����e�Ƃ�̼��Ĥ
��(l��i)Դ�����|��I(y��)(�Ϻ�)����˾ ��x��8725 ���r(sh��)�g��2021-01-20 16:17����ij�о�Ժ���ò��| KRI ���������l�x��Դ RFCIP220 �R����e�Ƃ�̼��Ĥ, ͬ�r(sh��)���Ҝغ͟o(w��)�����r�ėl����, ̽���x���������ͳ��e�r(sh��)�g��(du��)̼�{�ױ�Ĥ��Ĥ��Ӱ�.
���| KRI ���l�x��Դ RFICP220 ���g(sh��)����(sh��):
�x��Դ��̖(h��o) |
RFICP220 |
Discharge |
RFICP ���l |
�x������ |
>800 mA |
�x�ӄ�(d��ng)�� |
100-1200 V |
�ŘOֱ�� |
20 cm Φ |
�x���� |
�۽�, ƽ��, ɢ�� |
���� |
10-40 sccm |
ͨ�� |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, ���� |
���͉��� |
< 0.5m Torr |
�L(zh��ng)�� |
30 cm |
ֱ�� |
41 cm |
��� |
LFN 2000 |
* ���x: ���z�к���; ��׃�L(zh��ng)�ȵ�����
ԓ�R����e���ښ≺�� 1.33×10-4Pa ���r�לضȞ��Ҝؗl����,���� KRI ���������l�x��Դ RFCIP220 �R��ʯī, �ڟo(w��)���ӵĹ�(Si)�r���ϼӹ�̼�{�ױ�Ĥ.
ͨ�^(gu��)�������V��(du��)̼�{�ױ�Ĥ�������|(zh��)�ĽM���M(j��n)���˷���; ���Ò�����R(SEM)��ԭ�����@�R(AFM)��(l��i)�@ʾ��Ĥ�ı���Y(ji��)��(g��u); ��(sh��)�(y��n)�Y(ji��)���@ʾ, ݗ�Օr(sh��)�g��(du��) ID/IG �ı�ֵ�Լ�̼�����Ĵ�С�����@����Ӱ�, ���Ҹ��x���������܉���M(j��n)̼�����ĽY(ji��)��. ͬ�r(sh��), �ڸ��������x�����³��e̼�{�ױ�Ĥ, �� Si ����l(f��)�F(xi��n)������D����̼�{�Y(ji��)��(g��u): ѩ����, ���K��Ľ��Ǡ�.
KRI �x��Դ�Ī�(d��)�ع��܌�(sh��)�F(xi��n)�˸��õ�����, ����(qi��ng)�Ŀɿ��Ժ��·f�IJ��Ϲ�ˇ. KRI �x��Դ�ѽ�(j��ng)�@��������ı�Ĥ�ͱ�������, ���@Щ�����ڲ�ʹ�� KRI �x��Դ���g(sh��)����r���ǟo(w��)����(sh��)�F(xi��n)��.
���,��ԓ�о��(xi��ng)Ŀ�Ų��� KRI ���������l�x��Դ RFCIP220 �o���R����e��ˇ.
���|�ǵ�(gu��) Pfeiffer ��ձ�, �z©�x, �|(zh��)�V�x, ���Ӌ(j��), ����(gu��) KRI �������x��Դ, ����(gu��)HVA ����y�T, ����(gu��) inTEST �ߵ͜؛_���y(c��)ԇ�C(j��), ����(gu��) Ambrell �Б�(y��ng)�ӟ��O(sh��)�����ձ� NS �x���g�̙C(j��)���M(j��n)��֪��Ʒ�Ƶ�ָ��������.
������Ҫ�M(j��n)һ�����˽�Ԕ��(x��)��Ϣ��ӑՓ, Ո(q��ng)��������(li��n)�j(lu��)��ʽ:
�Ϻ����|: �_���� �_(t��i)�����|: ��Ůʿ
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
[email protected] [email protected]
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
���|���(qu��n)����, �����ؾ�!