���|�V�z©�x CVD �O��z©, �M��������댧�wоƬ���a(ch��n)
�Ϻ����|ij�͑���һ�������M������댧�w����������P�a(ch��n)Ʒ������������I(y��)�Ą�(chu��ng)���ͿƼ���˾, ���Įa(ch��n)Ʒ����“(li��n)�W(w��ng), 5G ͨӍ, �����O(ji��n)�صȵ������댧�wоƬ. оƬ�����a(ch��n)�^����ʹ�� CVD �O�����Ĥ̎��, ���Ĥ�^������Ҫ�����O��̎�ڳ�����ՠ�B(t��i), �@��Ҫ��ǻ�w��й©�ʲ��ܳ��^ 1E-10 mbrl l/s.

CVD �O��z©Ҫ��
���ģʽ��, ©�ʲ��ܳ��^ 1E-10 mbrl l/s
���ٳ��, �坍�o�p�ęz©

�Ϻ����|���|�V�z©�x CVD �O��z©����
����(j��)�͑� CVD ���ǻ�w��С��Ҫ���坍�o�͵Ĝyԇ�h(hu��n)��, �Ϻ����|���]�‡� Pfeiffer �o�͸�ʽ���|�V�z©�x ASM 340D �����ձ� IWATA ISP-500C �u���ɱ��M�� CVD �O��z©.

�z©�^��: ���ģʽ�z©, CVD �O��, ���|�V�z©�x ASM340 D �� ISP-500C �u���ô����ͨϵ�y(t��ng), �z©�������Ȱ� CVD �O����], �ٴ��_�z©�Ľӿ�, Ȼ�󆢄Ӝu�����A��ǻ�w����� 1500 Pa. ǻ�w��նȷ�(w��n)���� 1500 Pa ��, ���Ӻ��|�V�z©�x, �O���z©�x©�ʞ� 1E-10 mbrl l/s, ��ǻ�w���懊���� He(�ڑ�����©�IJ�λ,�����y�T, �ӿ�, ����̎�ȵط�), ���©�ʵ��� 1E-10 mbrl l/s, �t�ж����O��й©���Ǻϸ��, ���й©�ʸ��� 1E-10 mbrl l/s, �z©�x����, �����c�����@ʾ�������λ�ú�©��.

�Y���� Pfeiffer �c Adixen �ɼ��z©�x�ļ��g��(y��u)��, �Ϻ����|�‡� Pfeiffer �Ƴ�ȫϵ������̖���|�V�z©�x, �ı�yʽ�z©�x�������_ʽ�z©�x�M����N��ͬ�đ���. ���|�V�z©�x������y(t��ng)��ĭ�z©�͉����z©, ���ú�������ʾۙ���w�ɶ�λ, ����©�c. ���|�V�z©�x�M��ΙC�z©, Ҳ�ɼ������z©ϵ�y(t��ng)�� PLC. ���]���|�V�z©�x���� >>

�b�ڿ͑���Ϣ����, ������Ҫ�Mһ�����˽� CVD �O��z©, Ո��������“(li��n)�j��ʽ
�Ϻ����|: �~С��                                   �_�����|: ��С��
T: +86-21-5046-3511 ext 107              T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                            F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( ΢��̖ͬ )      M: +886-975-571-910
qq: 2821409400 

�F(xi��n)����Ʒ���\�к���������, �������ߚgӭ“(li��n)�j�Ϻ����| �~С�� 1391-883-7267
�Ϻ����|�������, �����ؾ�,��

���P����