Hakuto �x���g�̙C(j��) 20IBE-J �����մɰ� Pt,��Au��Cr ��Ĥ���g
��(l��i)Դ�����|��I(y��)(�Ϻ�)����˾ ��x��5763 ���r(sh��)�g��2021-01-19 15:51����ij��ӹ�˾����Hakuto �x���g�̙C(j��) 20IBE-J ��(du��)�մɰ�� Pt,��Au,��Cr ��Ĥ���g, �߶�ӡ���·�����a(ch��n)����
Hakuto �x���g�̙C(j��) 20IBE-J ���g(sh��)����(sh��)
|
Φ4 inch X 12Ƭ |
��Ƭ�ߴ� |
Φ4 inch X 12Ƭ Φ5 inch X 10Ƭ Φ6 inch X 8Ƭ |
|
������ |
±5% |
|
|
��Ƭ���g�� |
20 nm/min |
|
|
��Ʒ�_(t��i) |
ֱ����s,ˮ�� |
|
|
�x��Դ |
Φ20cm �������x��Դ |
v:shapes="_x0000_i1026">
Hakuto �x�ӿ��g�C(j��) 20IBE-J �ĺ��Ę�(g��u)���x��Դ���õ��Dz��|��˾��������(gu��) ��������ʿ��(chu��ng)���� KRI��������˾�����l�x��Դ RFICP220
���| KRI ���l�x��Դ RFICP 220 ���g(sh��)����(sh��):
|
�x��Դ��̖(h��o) |
RFICP 220 |
|
Discharge |
RFICP ���l |
|
�x������ |
>800 mA |
|
�x�ӄ�(d��ng)�� |
100-1200 V |
|
�ŘOֱ�� |
20 cm Φ |
|
�x���� |
�۽�, ƽ��, ɢ�� |
|
���� |
10-40 sccm |
|
ͨ�� |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, ���� |
|
���͉��� |
< 0.5m Torr |
|
��� |
LFN 2000 |
���] Hakuto �x���g�̙C(j��) 20IBE-J ����:
1. �͑�Ҫ��Ҏ(gu��)�,������a(ch��n), Hakuto �x���g�̙C(j��) 20IBE-J �m�ϴ�Ҏ(gu��)ģ���a(ch��n)ʹ��
2. ���g������ ±5%, �M��͑�Ҫ��
3. �����_(t��i)��s��ʽ: ֱ��ˮ��
4. ��Ʒ�b�d��(sh��): 18Ƭ/����2″����4Ƭ/����4″��
������Ҫ�M(j��n)һ�����˽�Ԕ��(x��)�a(ch��n)Ʒ��Ϣ��ӑՓ , Ո(q��ng)��������(li��n)�j(lu��)��ʽ :
�Ϻ����| : �_���� �_(t��i)�����| : ��С��
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
[email protected] [email protected]
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
���|���(qu��n)����, �����ؾ���
