������ʽ�^�V��һ�N�Y(ji��)��(g��u)�·f,���w�eС�����������`���(ji��)��,����Ч�����]����,���m���ԏ��Ķ���;�^�V�O(sh��)��,����ʽ�^�V����һ�N���͵��^�Vϵ�y(t��ng)����ʽ�^�V����(n��i)���ɽ��پW(w��ng)�@֧�ΞV��,��Һ�w��������M(j��n),����(j��ng)�V���^�V��ij����������s�|(zh��)�r���ڞV����,�����Q�V������^�m(x��)ʹ��,��

�����Y(ji��)��(g��u)������ԭ��:��ʽ�^�V�C��һ�N����ʽ�^�V�b�ã���Ҫ���^�VͲ�w,���^�VͲ�w�Ϳ��_�C��(g��u),�����P䓞V���ӏ��W(w��ng)����Ҫ�����M�ɣ��VҺ���^�V�C�⚤���Ԃ�(c��)��ڹ�����V��,���V���������b���ڼӏ��W(w��ng)�@��(n��i),��Һ�w�B͸�^����Ҫ��(x��)�ȵȼ��ĞV�����ܫ@�úϸ�ĞVҺ���s�|(zh��)�w�����V���r��,��ԓ�C���Q�V��ʮ�ַ���,���^�V�����o�������ġ�

������ʽ�^�V���߂䘋(g��u)�����,���ܷ��Ժ�,����ͨ���܏�������������T���L̎,�������ǞV����(c��)©�C��С,�������_�ر����^�V���ȣ����ܿ�ݵظēQ�V��,��ʹ�ò����ɱ��½�,���V����(n��i)������ȡ�Cе��ɰ�����Q��ƽ��,������ϴ,���҂�֪������ʽ�^�V������ȡ���^�V�����ǂ�(c��)�M(j��n)��(c��)���ķ�����Ҳ���Բ�ȡ��(c��)�M(j��n)�׳��ķ���,��ͨ�^�ܵ��еĉ������^�VҺ�w���|(zh��)���������ʽ�^�V��Ͱ�w,��Ҫ�^�V��Һ�w���|(zh��)��(j��ng)��늒���_��֧�֞V�{(l��n)���е��^�V�����^�V���l(f��)��׃���Ĺ�Һ�քe���_(d��)Һ�w���|(zh��)���^�V�ĽY(ji��)��,��

������������(sh��)

����ԭ�����Ӊ��^�V

������;��Һ�w�^�V

������ʽ����ʽ

�������ܣ����V

�����m�Ì��󣺹�Һ���x

�����m�Ì������|(zh��)�����l(w��i)��Ҫ������

�����V����ͣ�ᘴ̟o����

�������w���|(zh��)���L�w�S�o����

�����m�÷���������,����ˎ����܇,���p��,��ʳƷ���僵��ИI(y��)

������Ҫ���c

����1.�V����(c��)©�C��С,�������ر��C���^�VƷ�|(zh��),��

����2.��ʽ�^�V�ɳ��d����Ĺ������������pС,���\���M�õ�,����(ji��)��Ч�����@��

����3.�V���^�V���Ȳ������,�����_(d��)��0.5μm,��

����4.��ʽ�^�V̎�������w�eС,����������,��

����5.���ڴ�ʽ�^�Vϵ�y(t��ng)�Ĺ���ԭ���ͽY(ji��)��(g��u)�����Q�V���r������,�������^�V�C����ϴ,��ʡ��ʡ�r��

����6.�^�V���V����ϴ��ɷ���(f��)ʹ��,����(ji��)�s�ɱ�,��

����7.��ʽ�^�V��(y��ng)�÷����V��ʹ���`��,�����b��ʽ����,��