��֮�׵™C(j��)����R����ձ����F�^�V���Ї�(gu��)�^(q��)����Ľ�(j��ng)�N��,��Leybold�R����ձ����F�^�V��ȫϵ�Юa(ch��n)Ʒ���ЬF(xi��n)؛��(k��)��,��100%���C�‡�(gu��)ԭ�b��Ʒ,��ȫ��(gu��)���؅^(q��)���\(y��n)�M(f��i),��

Leybold�R����ձ����F�^�V��
Leybold�R����ձ����F�^�V�������^�VЧ�ʸ�,���w�eС�������L(zh��ng),���͸ߜ�,�����̓���Ч���á������,��������������c(di��n),��

Leybold�R����ձ����F�^�V�������c��(y��u)��(sh��)��
��1�����ښ��w������<5ppm w/w
��2���~����������0.3Mpa
��3���M(j��n)��ض�≤75��
��4���^�V����8-10��m
��5���^�V��99.%
��6����ʼ?j��)��?le;0.02Mpa
��7���V���5000~10000h

�R����ձ����F�^�V����Ҫ��̖(h��o)��
�R���M(j��n)����ձÿ՚�Vо�m����̖(h��o)��SV65��SV100,��SV65B,��SV100B��SV200,��SV300,��SV630
�R���M(j��n)����ձ��Ś��^�V���m����̖(h��o)SV65��SV100,��SV200,��SV300��SV630,��SVSV65B,��SV100B��SV408B
�R���M(j��n)����ձ����^�Vо�m����̖(h��o)SV65/100 SV200/300 SV630
�R���M(j��n)����ձ��S�� �m����̖(h��o)SV40B/65B/100B SV65/100 SV200/300
�R���M(j��n)����ձ��ܷ���m����̖(h��o)SV65/100/40 SV200/300
�R���M(j��n)����ձ��~Ƭ�m����̖(h��o)SV40B/25B1/00B SV40/65/100 SV200/300 SV630

Leybold�R����ձó��������
Leybold�R����ձ�,��Ƭ,��Ƭ,�~Ƭ, ��Ƭ,̼��Ƭ,̼Ƭ
�R����ձ����,�ܷ�|,��O��Ȧ,���S��,�S��,�S��,�~Ƭ,�ܷ��,�|Ƭ,�S�ް����ܷ����
�R����ձÿ՚��^�V��,
�R����ձÿ՚��^�Vо,
�R����ձ����F�^�V��,
�R����ձ��͚���x��,
�R����ձ��͚���xо,
�R����ձ��Ś��^�V��
�R����ձ����^�V�� 

Leybold�R����ձ�����̖(h��o)��
Leybold�R����ձ��͡��V���͡���LVO100,��LVO110,��LVO120��LVO130,��LVO140,��LVO150��LVO160
Leybold�R����ձ��͡����͡���LVO200,��LVO210,��LVO220��LVO240,��LVO250,��LVO260
Leybold�R����ձ��͡������͡���LVO300��LVO310,��LVO400,��LVO410,��LVO420,��LVO500,��LVO510��LVO520,��LVO530,��LVO540

��֮�׵³��Z��
1.��ʹ����˾�ṩ����ձúIJ�������ʹ���^���Ќ�(d��o)���F˾����ձù��Ϻͮ�������˾�����M(f��i)ؓ(f��)؟(z��)̎���;S��,�������M(f��i)�ṩ�C(j��)���o�͑����,���Դ_���͑��������a(ch��n),�� 
2.��(du��)��ÿһ�_(t��i)��ձõľS�޶���(hu��)���������_,���������r(ji��)�����,��
3.�����۳�����ձ�,���ṩ18��(g��)�����M(f��i)�S�ޣ��K���S�o(h��),��
4.��ʹ����˾�ṩ����ձúIJ�,������ʹ���^���У��ڱ����ڃ�(n��i)���F(xi��n)�κ��|(zh��)�����}��˾����(du��)�����M(f��i)���Q,��
5.��Ҫ�S�޵���ձ�,������͑���?j��ng)]����ձÕ��ã���˾������ǰ�ij����ñýo�͑���,���Ա��C����(hu��)Ӱ����������a(ch��n),������ձþS�޺ã���(j��ng)�z�y(c��)ԇ�úϸ��,���ٰт��ñ��˻���˾,��
6.��δ�漰������O(sh��)��M�b���ӹ����ļ��g(sh��)��ǰ����,�������ճ����B(y��ng)���S��,����˾���M(f��i)�ṩ���g(sh��)֧�֡�

��֮�׵™C(j��)�ͬ�r(sh��)�ṩ������ձü��g(sh��)����(w��)��
��1�����g(sh��)֧��
��2��ԭ�b�M(j��n)���������(y��ng)
��3�����ڙz�޷���(w��)
��4���F(xi��n)��(ch��ng)�S�޻�܇�g�S�޷���(w��)
��5��ԇ�C(j��)����(w��)
��6�����Sǰ܇�g�y(c��)ԇ
��7���F(xi��n)��(ch��ng)���B(y��ng)��ͬ����(w��)
��8���a(ch��n)Ʒ���������‡���
��9���ṩ��Ӗ(x��n)������ʾ��
��10����(zh��n)����(w��)
��11�����U����(w��)
��12����ձü����ϵ�y(t��ng)�ĽK������Ӌ(j��)��
��13����ձ���Q����(w��)

�R����ձ����F�^�V���a(ch��n)Ʒ�DƬ��