��ʽ�^�V����(y��ng)��

1.��Ϳ�ИI(y��)��(y��ng)�ã��Ӿ���^�V,�����V���o(h��)�^�V,��Ó֬�^���е��^�V,���׻�Һ�w���^�V���Ӿ��ij���,���^�V����ϴ��Q����,���^�V������ϣ�����,��

2.���ټӹ��ИI(y��)��(y��ng)�ã���sҺ��ѭ�h(hu��n)�^�V,�������F���٣��^�V�����׻�Һ,����ϴ,���^�V������(x��)ĥ���P�͙C(j��)�Vо,������Һ,����ϴҺ���ͣ�

3.ʳƷ����ИI(y��)��(y��ng)�ã�ʹ��̼��������ī�����V��,��ʳ����,����䰲ȫ��ֱ�������^�V�������N��ˇˮ,���ǝ{����ԭ�ϵ��^�V,��ȥ���s�|(zh��)�Ļ�ϼ��g(sh��)���V�������|(zh��)��ɳ,�����,��

4.����ИI(y��)��(y��ng)�ã��^�V��sˮ�ИI(y��)����Ҫ���������늽��~����(w��n)�����е��s�|(zh��)��������ˮ�^�V��,�����W(xu��)ˎ�{�^�V,��оƬ��ī�Uˮ��ѭ�h(hu��n)�^�V���^�VPCBӡˢ��ī,���~������Ĥ�^�V���Vо֮ǰ�����췽��,��

5.��֬�ИI(y��)��(y��ng)�ã���֬�Vо�����Ϳ��ԭ�������w�S,�����z�^�V,���܄����^�Vĥ�V��(x��)�����ò��ϸ������,��ȥ���s�|(zh��)���ӻ�Ϸ���(y��ng)��ȥ���z��Ϳ�ϵ����Y(ji��)�K,��ȥ��������֬��Ϳ��,��

6.�t(y��)ˎ�ИI(y��)��(y��ng)�ã��֏�(f��)���(d��ng)ԭ�ϣ��߻���,���p��̼,���^�Vˎ���ǝ{��ֲ�ﾫ�A�^�V��,���^�VPHֵ�{(di��o)��Һ,��Һ���V•��

7.ˮ̎���ИI(y��)��(y��ng)�ã��������{(di��o)ϵ�y(t��ng),��ȥ��ˮ�ܻ����}���ă�(n��i)���cҎ(gu��)ģ��ԭˮ�^�V,���^�V̎��Uˮ�Ļ��W(xu��)Ʒ�����VĤ,�����B͸Ĥ������(d��o)���o(h��),��ֹͣ���������,��ҺĤ�����^�V��,���x�ӽ��Q��֬�r�ء�

��ʽ�^�V�����c(di��n)

1.�V���Ă�(c��)©�C(j��)��С,�������ı��C���^�V��Ʒ�|(zh��),��

2.��ʽ�^�V���Գ��d����Ĺ������������pС���\(y��n)�е��M(f��i)�õ�,����(ji��)�ܵ�Ч�����@,��

3.�V�����^�V�����Լ������_(d��)��0.5um��

4.��ʽ�^�V��̎������,���w�eС,����������

5.���ǻ��ڴ�ʽ�^�Vϵ�y(t��ng)�Ĺ���ԭ���ͽY(ji��)��(g��u),���ڸ��Q�V���r(sh��)������,�������^�V�C(j��)�Dz�����ϴ�ģ���(ji��)ʡ�˹�����,��

6.�^�V���ĞV������ϴ֮������؏�(f��)ʹ��,����(ji��)�s�ɱ���

7.��ʽ�^�V����ʹ�÷����V,��ʹ���`��,�����b��ʽ���ӡ�