�ڳ��m�ИI(y��)�У���ʽ���m����19���o(j��)80���kaiʼ��(y��ng)���ԁ���һֱ��ԓ�ИI(y��)������܊,��������VͲ���m�����䃞(y��u)Խ�������_ʼ��(du��)��ʽ���m���ĵ�λ����Ӱ�,��

�VͲʽ���m����20���o(j��)80����������Ƽ{ɭ��˾�ڴ�ʽ���m���Ļ��A(ch��)�����a(ch��n)�ĵ�һ�N���ͳ��m����cai��xin�͞VͲ��V��,��ʹ�����x�ʸ�,�������͡��S�o(h��)��������,���w�eС,����λ�w�e�^�V��e�󣬽Y(ji��)��(g��u)�o��,�����Q�VͲ����,�������ܵȃ�(y��u)�c(di��n)��Ŀǰ�ڇ���(n��i)�����(g��)�ИI(y��)�����ձ�đ�(y��ng)��,���S�����m���g(sh��)�IJ���l(f��)չ,�������������^�V���ϵij��F(xi��n)���VͲ���m����Ч�ʺͽ�(j��ng)��(j��)�Եȶ��_ʼ��Խ���y(t��ng)�IJ������m��,���Ҿ��ЏV韵İl(f��)չǰ��,��

�VͲ���m�������ܺ����c(di��n)

1���VͲ���m���Ę�(g��u)�ɞVͲ���m����Ҫ�����󲿷�,�����w,���VͲ,�����ϵ�y(t��ng)��

(1)���w������(g��)���m�����⚤,����������ͻҶ�,��������Ҫ���ṩ����ij��m���g�����������ĺ����ֲ�,���Ҷ��t���ռ��^�V��������,��

(2)�VͲ������ӡ���(n��i)�Ӻ����g�Ә�(g��u)��,����(n��i)�Ӻ���Ӿ�����پW(w��ng)(��Ӳ�|(zh��)���ϾW(w��ng)),�����g�����͵ĞV�ϡ��VͲ�ÞV�ϵ����c(di��n)��,����һ�Ӂ�΢�׼�(j��)�ij����w�S𤸽��һ��V����,��ԓ𤸽���ϵ��w�S�g���зdz��o�ܣ����g϶0.12��0.6um,�����ڲ����ܼ��͵��ۯB,��ʹ���^�V��e������ӡ�ji����^�V��e�ǞVͲ��ͻ�����c(di��n)��

(3)���ϵ�y(t��ng)��Ҫ����������,��늴��}�_�y,������ȡ���(d��ng)�VͲ����e���_(d��)��һ���ĺ��,����Ҫ�M(j��n)�����,�����m������(j��ng)�^�VͲ�^�V��Ȼ���ų�,����(d��ng)���m�������_(d��)�������O(sh��)��ֵ���ߕr(sh��)�g�O(sh��)��ֵ�r(sh��),���ɉ�����ƃx���ߕr(sh��)�g���ƃx��������(y��ng)��늴��}�_�y�����_̎���]�Ϡ�B(t��i)��늴��}�_�y,�����s�՚�ֱ�Ӈ���VͲzhong��,����(du��)���M(j��n)���}�_��ҡ�

2,������ԭ�����m����������M(j��n)����m�����w,��һ����f�����w�ĞVͲ�����(c��)�M(j��n)��,���w���^��ķۉm������������,������(j��ng)�^�VͲ��ֱ�ӳ������Ҷ���(n��i),�������ܵ��T������������ײ�����w߅��,������߅�ڳ�������С�w���ۉm�S����ͨ�^Ͳ�w�����w�еķۉm�w�����^�V�ڞV�ϱ���,���Ƀ��Ě��w�ij����ų�,���ۉm�ڞVͲ����Խ�eԽ�࣬����ҲԽ��Խ��,���_(d��)���O(sh��)��ֵ�����O(sh��)���r(sh��)�g,��늴��}�_�y���_�����s���w��(hu��)����?y��n)VͲzhong��,��ͬ�r(sh��)�T��(d��o)�Ŀ՚�Ҳ��(hu��)�ӏ�(qi��ng)���Ч��˲�r(sh��)�ĸ߉����w���VͲ����ۉm����,�������O(sh��)�õ���������}�_���ʹϵ�y(t��ng)�֏�(f��)�������\(y��n)�С�

3,���^�V�C(j��)��V�ϵ��^�V�C(j��)����Ҫ�У��rjieЧ��(y��ng),������Ч��(y��ng)���T��Ч��(y��ng),���U(ku��)ɢЧ��(y��ng),���o�Ч��(y��ng)�ȡ��rjieЧ��(y��ng)���V�σ�(n��i)�����������e(cu��)�C��(f��)�s,���໥���e(cu��),���V�ϵ�ƽ���׏��^С���������ڞV�Ͽ׏����w���o��ͨ�^�V�ό��g϶�����rjie,��

����Ч��(y��ng)�����w���ۉm�����^��,������δ��(j��ng)�^�V�϶�ֱ�ӳ����������Ǹ����V�ϵ��w�����ڈF(tu��n)��,�����������ܵ����(d��ng)��Ó�x�V��,��

�T��Ч��(y��ng)�����w�w���S�����\(y��n)��(d��ng),�����������@�У��ۉm��T��ƫ�x��������ײ���V�όӶ����ռ�,������Խ��,���T����Խ��(qi��ng)�����^�V���Ŀ�����Խ��,���U(ku��)ɢЧ��(y��ng)���o�Ч��(y��ng)����(x��)С�ķۉmײ���V�όӷۉm�c�V�ϱ����g������ʹ��ճ�ڞV���϶����^�V��,�������^С���w��Ҫ�������\(y��n)��(d��ng)���໥��ײ,��С�����w���໥��ײ���c�V��Ħ�����,���w�������������������w���ۉm��Ҫ��ǰ�׷N�^�V�C(j��)��������(d��o)����,�������^С����Ҫ�Ǻ�׷N,����N�^�V�C(j��)��ͬ�r(sh��)���ã��@�Ӵ󲿷ַۉm�����^�V�������m���ij��mЧ��Ҳ��(hu��)�^��,��

4,�����g(sh��)���c(di��n)�VͲ���m���c��ʽ���m��������������c(di��n)��

(1)���mЧ���^�ߡ���(du��)��һ��΢�׼�(j��)�ķۉm���mЧ�ʿ��_(d��)99.99��,������̎�������^��(qi��ng)�ĞVͲ��(du��)������0.5um�ķۉmҲ���_(d��)����Ч����������,��

(2)�����^С����(du��)����ͨ���w,���VͲ���m������С��1000Pa,��ճ�����^��(qi��ng)���֣�һ��zui������1500Pa����,��

(3)��ڝ�ȷ����V,����ͨ�ľ����VͲ��ߡʽ�VͲ�Ϳ���̎����ں��m����^�ߚ������M(j��n)�ں��m��ȿ��_(d��)250g/m3,��

(4)�^�V�L(f��ng)�ٷ����V,����ͬ���|(zh��)�ĞVͲ�^�V�L(f��ng)�ٲ�ͬ���ձ��ʽ���m�����^�V�L(f��ng)����lm/min����,�������|(zh��)�VͲ���^�V�L(f��ng)��zuiС0.3m/min,��ߡʽ�VͲ���^�V�L(f��ng)��zui��2.4m/min��

(5)ˮϴ����,�������|(zh��)�V����,�������ĞVͲ������VͲ�͸�Ĥ�VͲһ�㶼������ˮ��ϴ�������ɺ󼴿��؏�(f��)ʹ��,��

(6)����(du��)�����^�o��,����(ji��)�s���g�����ھS�o(h��),��