����180 3246 5537�� �ϫ��˾���I(y��)���a(ch��n)��ˮ�����O(sh��)��,����ˮ���������O(sh��)��,����ˮ�����O(sh��)��,�����g�����O(sh��)�䣬���sˮ�C(j��)�Ȯa(ch��n)Ʒ,��

һ�����ʽ���⾀�������������c(di��n)

���ʽ������ʽ�����⾀����������ģ�K���O(sh��)Ӌ(j��),�����b���㡢��������,���ɸ���(j��)��ͬ̎�������Ñ�Ҫ�����ɽM��ģ�K,���m�÷����V���ɿ��Ը�,��ԓϵ�y(t��ng)�����ٶȿ�,��Ч���ã�����Ч�ʸ�,���\(y��n)���M(f��i)�õ�,���]���������a(ch��n)���Ķ�����Ⱦ�������õĵ͉��ߏ�(qi��ng)����������Ч�����L,����󽵵��˸��Q���ܮa(ch��n)�����\(y��n)�к;S���M(f��i)��,��

 

�����a(ch��n)Ʒ��B

���ʽ������ʽ�����⾀��������ͨ�^�������_�ۜ�����(n��i)����������ģ�K�ϵ�������l(f��)������ݗ�䲨�L��253.7nm�Ķ̲����⾀������(j��ng)������ˮ�w�M(j��n)�К�������,���Ķ���Q̎�������ˮ��(x��)��ָ��(bi��o)�ij���(bi��o)���},��ʹ��K�ŷ�ˮ�w�ļ�(x��)���W(xu��)��(bi��o)�_(d��)�������^�������P(gu��n)�ŷŘ�(bi��o)��(zh��n)��ˮ�|(zh��)��(bi��o)��(zh��n)Ҫ��

1,����Ч�ʚ���:

���⾀����(x��)��,�������Ě���ʹ��һ����һ�����뼴���_(d��)��99%��99.9%�Ě����ʡ�

2,���������V�V��:

   ���⾀�����ďV�V������ߵ�,�������׺����еļ�(x��)�����������ܸ�Ч�ʚ���,��

3,���o������Ⱦ: 

���⾀�����������κλ��W(xu��)ˎ�������������(hu��)��ˮ�w���܇��h(hu��n)���a(ch��n)��������Ⱦ,������׃ˮ���κγɷ�,��

4���\(y��n)�а�ȫ,���ɿ�: 

���y(t��ng)���������g(sh��)������Ȼ�������,�������������������ڄ�������ȼ�����|(zh��),�����|(zh��)�����⾀����ϵ�y(t��ng)�������@�ӵİ�ȫ�[��,��

5,�����C(j��)�\(y��n)�оS�o(h��)�M(f��i)�õͣ�

���⾀�����O(sh��)��ռ��С����(g��u)����Ҫ�󺆆�,����˿�Ͷ�Y�^��,�����\(y��n)�з���ɱ�Ҳ�^�ͣ���ǧ��ˮ̎����ˮƽ,�����ijɱ�ֻ����������1/2,��