�������\(y��n)���r(sh��),�����m�՚�ij��m����(c��)���M(j��n)�L(f��ng)���M(j��n)����m����ͨ�^(gu��)�VͲ,���ۉm�����x���e���ڞV�������,���������Ŀ՚�tͨ�^(gu��)�VͲ�����M(j��n)����ο՚��ң����(j��ng)���m���£���(c��)����ij��L(f��ng)���ų�,��

���坍�VͲ�r(sh��),���}�_�������(q��)��(d��ng)늴��y�ٿv�ډ��s�՚⇊���ϵı�Ĥ�y���߉��ĉ��s�՚�ͨ�^(gu��)���܇���,����ȥ�VͲ�Ļ҉m,������Ļ҉m�t�S���µĚ��������뼯�m����,��

����ʽ�VͲ���m�����������К�����߳��mЧ�ʵij��m��,�����m���x�õĞVͲ�ĞV�ģ���һ�N��΢���W(w��ng)��Y(ji��)��(g��u),���䌦(du��)0.5um�m�����^(gu��)�VЧ�ʿ��_(d��)99.9%,������Ϳ�ڞV�ı���Ī�(d��)�ص�Ϳ�ӵ�΢С�Y�׿����0.5um��(j��)�ĉm�����ڞV�ı��棬�����ܝB��V�ă�(n��i)��,���@�ӷۉmֻ���ڞV�ĵı���e���γɼ���_(d��)��һ����ȕr(sh��),����(hu��)�����غ͚������������Ԅ�(d��ng)�ĞV�ı���Ó�䣬����m���ɫ@���^�õ��^(gu��)�VЧ�����^�͵��\(y��n)���M(f��i)��,����ʹ�VͲ���ӽ�(j��ng)������,��

��Ҫ���c(di��n)��

(1)�����,����������M(j��n)�L(f��ng)���O(sh��)Ӌ(j��)ʹ�C(j��)�w��(n��i)�Ě���������Ӿ��򣬲����͚�������,���������M(j��n)�Р�B(t��i)��,���՚��M(j��n)���ڷ��m�g�ĉ�����800��1000Pa������^(gu��)�V�L(f��ng)��0.5��1.5m/min,��

(2)Ч�ʸߣ��VͲ�^(gu��)�Vý�w�Ƀ�(y��u)�|(zh��)�w�S�ؼ�(x��)�z�Ƴ�,�����潛(j��ng)�^(gu��)��(sh��)֬Ϳ��̎���������^���^(gu��)�VЧ��,����(du��)��0.5um�m���ij��mЧ�ʞ�99.9%,����(du��)��0.5��10um�ĉm���ij��mЧ�ʞ�99.97%����С��1000mg/m3��ں��m�����r��,���ŷŵ��坍�՚⺬�m���С��3mg/m3,��

(3)�����Ŀ՚��(d��ng)���O(sh��)Ӌ(j��)�������������£����m�՚�ͨ�^(gu��)픲����(c��)���M(j��n)����m����(n��i),����(j��ng)�^(gu��)�^(gu��)�V��Ƀ��՚��M(j��n)��Ƀ��՚��Ҳ��ij��m���‚�(c��)�ų��C(j��)�w��,���m�������µĚ����и��׷��x��

(4)�`��ĽM�bʽģ�K�Y(ji��)��(g��u)������(j��)��ͬ�����a(ch��n)Ҫ�󌢿��ڂ�(g��)ģ�K�`��ؽM����һ��ɞ�һ��(g��)���m�����w,������ęz���T(m��n)��ƽ�ŵļӏ�(qi��ng)������VͲ�IJ�Q������,�����㣬���_���S�޹����İ�ȫ,��