һ�����⾀�������a(ch��n)Ʒ��(ji��n)�飺

�����������ˮ���⾀������(���º�(ji��n)�Q���⾀������)����ԭ�������ò��L(zh��ng)��225nm-275nm�����⾀��(du��)΢����Ě�������ʹˮ���ԃ���,��ˮ����(j��ng)�������r(sh��)��(j��ng)���������,��ˮ�еļ�(x��)������������

������,�����⾀�������a(ch��n)Ʒ���c(di��n)��

����1,�����⾀�����������ٶȿ졢Ч����,������׃ˮ������,�����W(xu��)���|(zh��)������ˮ����ζ�����a(ch��n)���°������ȼ���,��һ��(j��ng)���b,��������(ji��n)�㣬��������,��

����2,�����⾀������Ͳ�w���Ã�(y��u)�|(zh��)��ʳƷ��(j��)���P䓰�ӹ����ɣ�ʹ�É������X�Ͻ���Ʒ��5-10��,���͉���,���o(w��)�����x����Ⱦ��

����3,�����⾀���������x�Ç�(gu��)���l(w��i)�����T,�����߲��T�b���Č��I(y��)�a(ch��n)Ʒ���͉�30w,�����V��235.7nm,���˲��L(zh��ng)���⾀��������ߣ��_(d��)98%����,���Һ��ܵ�,���B�m(x��)ʹ�É������_(d��)3000С�r(sh��)���ϡ�

����4,��������Ʋ����c���w����һ�w�O(sh��)Ӌ(j��),���������^,����(ji��)ʡ���g��

������,�����⾀���������÷�����

�m�����Խ���,�������;�ˮ��Դ��С�͹�ˮϵ�y(t��ng)��������ʹ�ø�λˮ��͂����Aˮ�صĽoˮϵ�y(t��ng),���ڸ�λˮ����Aˮ�س���̎���b���⾀����������Ч�Ľ�Q���ڶ�����Ⱦ��ɵ��к���Ⱥ����(bi��o)�Ć�(w��n)�},��ͬ�r(sh��)Ҳ�m����ʳƷ�����,������ИI(y��)����Ӿ�ص���ˮ����,��

�ġ����⾀���������b,���{(di��o)ԇ��

1,�����⾀��������(y��ng)ˮƽ���b(��(y��n)����ֱ���b)��

����2,�����⾀������Ͳ�w���ó����ⲿ����,��

����3�����⾀��������(y��ng)���b��ˮ���ˮ���ij���̎,����ˮ����,��ˮ���߻�ܾW(w��ng)�^(gu��)�L(zh��ng)�r(sh��)�t�԰��b�ڽӽ��Ñ���ݔˮ��(֧)���Ϟ�ѡ�

����4,�������⾀�������ăɶ���������,����(y��ng)�քe����≥1��≥0.4�׵Ŀ��g���Ա��ڸ��Q����,�����⾀�������������ǰ��(y��ng)��0.6�׵ğo(w��)�ϵK���g���Ա��ھS��,��

����5,���o(w��)Փ�x��һ�_(t��i)����_(t��i)���⾀��������“(li��n)������(y��ng)���b��ͨ��·�ͽ�ֹ�y,���Ա��ھS��,��

6���������x���bλ��,��ע��늿ز��ֵķ�ˮ,��������

7,������Ƙ�(bi��o)�R(sh��)��늉�,�������x���Դ��������(d��o)����Ӿ����B��,��

����8,��ʯӢ�����׹ܼ����⾀���ܾ������F������Ʒ,�����\(y��n)ݔ�����b,��ʹ���Б�(y��ng)�������,��