���Ó����m����ᘌ����m,��Ó���O��Ҫ�󲻔���ߵ���r�������_�l(f��)�����͸�Ч���mÓ���O�䣬ԓ�O���c�����ĆΙCÓ����m�����,�����г��m,��Ó��Ч�ʸ�,���\��ϵ�y�]���κθ��g����ĥ�p,��ʹ�É����L,���������S�o��������c��

һ,������ԭ��

���Ó����m��ϵ�ɷ����m,����Ó��ĽM���O�䣬�ɷ����m���ֲ��ú����|���մ����L��,����ĥ�p,�����m���w���о���ɢ�M�����L�w�ȣ����m���x������������,���m���c���w���x,���m�䵽������ȣ���ж���y�ų�,��������ğ��⽛�ş��ܵ��M�����Ó��,��

�񷨶���Ó����Û_��ˮԡ���m������һ�����m,�������еĴ󲿷ַۉm�ѱ�����,������΢���ۉm�M������_��ˮԡ���m����������ٛ_��Һ��,���������Һ�κ�ˮ�F,�������еļ�΢�ۉm�cҺ�Ρ�ˮ�F��ֻ������,���Mһ�����������еļ�΢�ۉm,�������еĶ��������c�A��Ó��Һ�w��ֽ��|��ϣ����Ɂ������}���w�����O��ײ�,�����Ż��y�ų�,��

�����������c

1,�����m,��Ó��Ч�ʸߣ����䌦10um���¼�΢�ۉmÓ���ʸ�,��

2,���O�����w����w��һ�w��ռ����eС,��

3,��ÓˮЧ���ã����C�L�C����ˮ,�������g,��

4����偠t�_���ĉA�ԏUˮ��ϴ��Һ,���ԏU�ΏU,��

5,���O������С���ܺĵ�,��

6,��Һ��ȵף���ˮ����,��

7,�����m�������͸��g����ĥ�p,���͸ߜ�,��ʹ�É����L��

��,�����܅���

1�����mЧ�ʣ���98.9%,��10um���µķۉmȥ���ʣ�75%

2,��Ó��Ч�ʣ���96.7%

3�����m����������≤1000Pa

4,�����m��©�L�ʣ�≤4%

5,�����⺬������≤5%