���Ó����m����ᘌ����m,��Ó���O(sh��)��Ҫ�󲻔���ߵ���r�������_�l(f��)�����͸�Ч���mÓ���O(sh��)�䣬ԓ�O(sh��)���c�����ĆΙCÓ����m�����,�����г��m,��Ó��Ч�ʸ�,���\��ϵ�y(t��ng)�]���κθ��g����ĥ�p��ʹ�É����L,������,���S�o��������c��

һ,������ԭ��

���Ó����m��ϵ�ɷ����m,����Ó��ĽM���O(sh��)�䣬�ɷ����m���ֲ��ú����|(zh��)���մ����L(f��ng)��,����ĥ�p,�����m���w���о���ɢ�M�����L(f��ng)�w��(n��i)�����m���x������������,���m���c���w���x,���m�䵽�������(n��i)����(j��ng)ж���y�ų�,��������ğ��⽛(j��ng)�ş��ܵ��M�����Ó��,��

�񷨶���Ó����Û_��ˮԡ���m������(j��ng)һ�����m,�������еĴ󲿷ַۉm�ѱ�����,������΢���ۉm�M������_��ˮԡ���m����������ٛ_��Һ��,���������Һ�κ�ˮ�F,�������еļ�΢�ۉm�cҺ�Ρ�ˮ�F��ֻ������,���Mһ�����������еļ�΢�ۉm,�������еĶ��������c�A��Ó��Һ�w��ֽ��|��ϣ����Ɂ������}���w�����O(sh��)��ײ�,����(j��ng)�Ż��y�ų�,��

�����������c

1,�����m,��Ó��Ч�ʸߣ����䌦10um���¼�΢�ۉmÓ���ʸ�,��

2,���O(sh��)�����w����w��һ�w��ռ����eС,��

3,��ÓˮЧ���ã����C�L(f��ng)�C����ˮ,�������g,��

4,����偠t�_���ĉA�ԏUˮ��ϴ��Һ���ԏU�ΏU,��

5,���O(sh��)������С���ܺĵ�,��

6,��Һ��ȵף���ˮ����,��

7,�����m�������͸��g����ĥ�p,���͸ߜ�,��ʹ�É����L��

��,�����܅���(sh��)

1,�����mЧ�ʣ���98.9%��10um���µķۉmȥ���ʣ�75%

2,��Ó��Ч�ʣ���96.7%

3,�����m����������≤1000Pa

4�����m��©�L(f��ng)�ʣ�≤4%

5,�����⺬������≤5%