һ,����������|(zh��)

����Ҳ�Q����,���ǻ��W(xu��)����ʽ��SiH4��һ�N�����ԓ���w�oɫ�o��,���ܶ�1.44��/��,�����c(di��n)-185�棬���c(di��n)-111.8��,��������ˮ,�����Ҝ��¹�����һ�N��ȼ�Ě��w���ڿ՚��Пo��ӻ�Դ,������Ϳ�����ȼ,�����ɶ��������ˮ�����ų������ğ���,���ɱ�һ������������,��

����ȼ����ԭ��

��ȼ��������ȼ��ϴ�취����������w,�����քe��һ��(j��)ȼ�����Ͷ���(j��)ȼ��ϴ�����M��,��

����(j��)����(����)�ڿ՚�����ȼ�����ԣ�����ȼ�������O(sh��)�����]ȼ����,���鱣�C������ȼ���҃�(n��i)���ȼ��,����횱��Cȼ������(n��i)ؓ(f��)����������-100Pa����,��

��,���m�÷���

�ҹ�˾���a(ch��n)�Ĺ���ȼ��������Ҫ���چξ���,���ྦྷ���ИI(y��)���a(ch��n)�Юa(ch��n)���Ĺ���β�����,��ԓ�O(sh��)��ijɹ���(y��ng)�ã���Ҫ���ҹ�˾���g(sh��)�ˆT��(du��)��(gu��)��댧(d��o)�w�ИI(y��)��������β�⼼�g(sh��)�������������,����M���(gu��)��(n��i)̫���,�������ИI(y��)���댧(d��o)�w�ИI(y��)��CVD���W(xu��)���w���e��ˇ�Юa(ch��n)���Ĺ�����w����,��