ԭ������

���m���w����ڽӹ��M(j��n)����m�C(j��)�M���M(j��n)��e�m�}(c��ng)����w�,��҉m�������đT������ֱ�ӳ��뼯��Ͱ,��С�w���҉m�ښ����������µ��_(d��)�VͰ�^�V��,���������^�VͰ�����L(f��ng)�C(j��)�ų������҉m�t���^�V�ڞVͰ���档

����ϵ�y(t��ng)��(hu��)���r(sh��)�Ԅ�(d��ng)��(du��)�VͰ�M(j��n)����ҹ���,����ҹ����r(sh��)����ϵ�y(t��ng)��(hu��)�Ԅ�(d��ng)�����_늴��}�_�y���߉��՚�˲�g���^�V�ڞVͰ����ķۉm����,���ۉm�����������������뼯��Ͱ��,��늺����������к�΢��(x��)���ٷۉm�ͻ��W(xu��)���|(zh��)��(j��ng)�^�O(sh��)��̎�������Ч���_(d��)99.9%��������Ŀ՚��ֱ������S��?j��)?n��i)ѭ�h(hu��n)��

�O(sh��)��M��

������ͨA3���������,����Ҫ����������M(j��n)�L(f��ng)��,�����L(f��ng)�C(j��)��������,����Ч�VͰ,���VͰ֧�ܡ�������,�����L(f��ng)��,�����mͰ���O(sh��)���_݆,���}�_����ϵ�y(t��ng),���������늿���,���f(w��n)���D(zhu��n)��(d��ng),��

���m�۵ȽM�ɡ������������ɺܺõ�ȥ���U���еķۉm�����W(xu��)��ζ,���O(sh��)��֞��Ƅ�(d��ng)�����ЃɷN,�����L(f��ng)ϵ�y(t��ng)������2—4���L(zh��ng)�Ļ��(d��ng)����ۣ��Ɍ������ֿ��S������ͣ�������S���g������λ��,������ʹ�ú�(ji��n)�η���,��

��(y��ng)���I(l��ng)�򣺺��ӡ������и�,����ĥ,�����������ИI(y��)�ij��m������

�VͰ���m��Ԫ���c(di��n)

�VͰ�����һ�N������(x��)�ď�(f��)�ϲ����Ƴ�,�����Բ���0.01μm�ĘO��(x��)���m,����Ͱ�ڱ���⻬������(hu��)ճ���ۉm,��������(hu��)ʹ�ۉm�B͸���V�ă�(n��i)��,����(sh��)�F(xi��n)�����Ч�^�V���@�ӿ���ʹ�����ڞV�ı���ķۉm���}�_�����՚������^����˲�gÓ��,���Ķ������^�ߵ��^�VЧ��,���^�L(zh��ng)��ʹ�É������^�͵��\(y��n)�гɱ���ͨ�^������(b��o)����ʾ�Vо�ĸ��Q������,��

1) �\(y��n)���^���пɴ��_㕽ӿ��p�׵Č����mͰж�Œ��҉m����,������(g��)�����^�̺�(ji��n)�η��㲻Ӱ��O(sh��)��������\(y��n)�D(zhu��n)��

2) ���w�Y(ji��)��(g��u)�ɸ���(j��)�Ñ��ľ��wҪ�󼰬F(xi��n)��(ch��ng)��(sh��)�H��r�`��M��,��

3) �Y(ji��)��(g��u)�o��,�����p��ռ����e�Ϳ��g,��

4) �����˞VͰ�^�V�¼��g(sh��)����(y��ng)�ó���(x��)�����w�S��(f��)Ĥ�����Ƴ��ް�Ͱ�w,���^�V��e��,���^�V�L(f��ng)�كH0.012��/s����(sh��)�F(xi��n)�����^�V,���}�_�����r(sh��)�ۉm����Ó��,��ʹ���m�O(sh��)��ʼ�K�ڵ��������\(y��n)�У�ʹ�É����L(zh��ng),��

5) �S�o(h��)��(ji��n)�η���,�����ОVͰ�����κι��߾Ϳ��Ժܷ���IJ�ж�͸��Q��

�VͰʽ���m�C(j��)�MҎ(gu��)���