����˹��FMS���͸ߜ�ᘴ̚����m����

ԓ�aƷ�����͸ߜ�,���ߏ���,������A���g,����ĥ,�����۵����c,�����^��ͬ�ı��滯�W̎���c���������g,��߀���������,����ˮ����,�����o늵ȹ���,�������m��200°C-300°Cϵ�ЮaƷ,��

FMS����˹�V���c�����w�S�V����ȣ�����ĥ��,�������Լ����x���������@���,���ɳГ����^�Vؓ�ɣ��^�V�ٶȿ��_1.5��/�����ϻ����,���\��������,���c�ϳɻ��w�͸ߜ؞V����ȣ��˷��˻��w�V�����L,��׃�δ�,���͜ص͡��͸��g�Բ�����c,���ߴ緀(w��n)��,�����ȸ��ã����҃r��������͸ߜػ��W�w�S��,���V��������F,����ɫұ������ʽ,��̿��,�� ���ġ�����Ȳ��T,��

��Ĥᘴ��^�V���ǰѾ��ķ���ϩ�׏�С��5um����,������ᘴ��^�V�ֱ����һ�N�ͺϞV�ϡ�ԓ��Ĥ�V�����c�����ķ���ϩ��Ĥ����⻬�һ��W���|,�����串�ϵ���ͨ�^�V���ϵı��,������һ���Էۉm�ӵ����ã����ۉmȫ�������ڱ�Ĥ�ı���,�����F����^�V,������ԓ��Ĥ����⻬���ИO�ѵĻ��W��(w��n)����,�����ϻ�,������ˮ��ʹ�����ڱ���ķۉm�����ׄ���,��ͬ�r����˞V�ϵ�ʹ�É���,��

�c��ͨ�V����ȣ��䃞(y��u)�c�У�

1�� ��Ĥ�׏���0.23um֮�g,���^�VЧ�ʾ����_��99.99������,���׺����F���ŷš���Һ󲻸�׃��϶��,�����mЧ��һֱ�ܸ�,��

2�� ��Ĥ�V�����_ʼʹ�Õr,�������pʧҪ������ͨ�V�ϣ�����Ͷ���\�к�,�������pʧ�Sʹ�Õr�g������׃���s����,������ͨ�V�ϵĉ����pʧ���Sʹ�Õr�g�����L��Խ��Խ��

3�� ��ͨ�V����ʹ���зۉm�������M�뵽�Ȳ�,������Խ�eԽ��,��ֱ������϶���������²���ʹ��,����ʹ�þ��ķ���ϩ��Ĥ�V��,���^�V�ķۉm�����׏ı�Ĥ������������Ч����,�������L,����ʹ�õ���҉��������^�ͣ��Ķ�����˞V�ϵ�ʹ�É���,�������@���p�ٳ��m���ęz�޾S�޹�����,�������ˮaƷ���\���M�ã��c�C���V�Ϻ�ᘴ��^�V�ָ���,���Ƴɾ��ķ���ϩ��Ĥ�V��,���V�������ڟ���������m���ۉm�������طN���յ��I��,��

4�� ԓ��Ĥ�V��߀���л��W��(w��n)���Ժ�,���͟���ͻ��W���g�����ܡ�