һ,����������|(zh��)

����Ҳ�Q���飬�ǻ��W(xu��)����ʽ��SiH4��һ�N������,��ԓ���w�oɫ�o��,���ܶ�1.44��/��,�����c(di��n)-185�棬���c(di��n)-111.8��,��������ˮ,�����Ҝ��¹�����һ�N��ȼ�Ě��w���ڿ՚��Пo��ӻ�Դ,������Ϳ�����ȼ,�����ɶ��������ˮ�����ų������ğ���,���ɱ�һ������������,��

����ȼ����ԭ��

��ȼ��������ȼ��ϴ�취����������w,�����քe��һ,������ȼ����������ȼ��ϴ�����M�ɡ�

����(j��)����(����)�ڿ՚�����ȼ������,������ȼ�������O(sh��)�����]ȼ����,���鱣�C������ȼ���҃�(n��i)���ȼ������횱��Cȼ������(n��i)ؓ(f��)��,��������-100Pa����,��

�����m�÷���

�ҹ�˾���a(ch��n)�Ĺ���ȼ����,����Ҫ���چξ���,���ྦྷ���ИI(y��)���a(ch��n)�Юa(ch��n)���Ĺ���β�������ԓ�O(sh��)��ijɹ���(y��ng)��,����Ҫ���ҹ�˾���g(sh��)�ˆT������댧(d��o)�w�ИI(y��)��������β�⼼�g(sh��)�������������,����M�����(n��i)̫��ܡ������ИI(y��),���댧(d��o)�w�ИI(y��)��CVD���W(xu��)���w���e��ˇ�Юa(ch��n)���Ĺ�����w����,��