���⾀���ˮ̎���� 

��ʹ�������ˮ�_(d��)����(gu��)��Ҏ(gu��)���ġ��������ˮ�l(w��i)����(bi��o)��(zh��n)��,���ϡ��������ˮ�l(w��i)���O(ji��n)������?xi��ng)l����,��Ч�Ľ�Q�oˮϵ�y(t��ng)��(du��)�������ˮ��ɵĶ�����Ⱦ,������˾����
�_(k��i)�l(f��)��XZY30��ϵ�����⾀�������ˮ̎����,��
 
��(y��ng)���I(l��ng)��
   
�����⾀�������ˮ̎�����m����һ��С�͹�ˮϵ�y(t��ng)���Ǹ�λˮ��,����(ch��)ˮ�س���,������ʽ��ˮ׃�l��������������x�O(sh��)�䣬����Ч��Q���ڶ�����Ⱦ��ɵ��к�
��Ⱥ����(bi��o)��(w��n)�},��ͬ�r(sh��)�m����ʳƷ,����ϡ��t(y��)ˎ���ИI(y��)����ˮ����,��

�a(ch��n)Ʒ���c(di��n)
1,�������ٶȿ죬����׃ˮ������,�����W(xu��)���|(zh��),��������ˮ����ζ�����a(ch��n)����(du��)���w�к����u�����黯����,���o(w��)ؓ(f��)����,��
2��̎��Ͳ�w�����M(j��n)�ڃ�(y��u)�|(zh��)���P�,���ɝM(m��n)��0.6MPa�Ĺ�������,�����з��P����(qi��ng)�ȸ�,���o(w��)�����x����Ⱦ,���O(sh��)����������坍�ȃ�(y��u)�c(di��n)��
3,�����⾀���x�Ç�(gu��)���l(w��i)�����T(m��n),�����߲��T(m��n)�b���Č�(zhu��n)�I(y��)�®a(ch��n)Ʒ���͉�30W,�������V253.7nm,���˲��L(zh��ng)�����⾀���������,�����_(d��)98%���ϣ����ܵ�,���B�m(x��)ʹ�É�����
�_(d��)3000С�r(sh��)����,�������пɿ����(zh��n)���b�á�
4,��ģ�K��늿��b��,�������Rȫ�����r(sh��)��(zh��n)�_,���cˮ̎��Ͳ�w����һ�w���O(sh��)Ӌ(j��),�����а��b���㣬������(ji��n)��,����ȫ�ɿ�,�����ھS�o(h��)�����c(di��n)��

����ԭ��
   
XZY30ϵ�����⾀�����������ò��L(zh��ng)��225nm~275nm������⌦(du��)΢����ď�(qi��ng)�Қ��������M(j��n)������,����������(qi��ng),�����Õr(sh��)�g�̡���(d��ng)ˮ����(j��ng)�^(gu��)̎�����r(sh��),����(j��ng)���⾀����,��ˮ�еļ�(x��)���������硣