�a(ch��n)Ʒ������
   �ҹ�˾�аl(f��)���a(ch��n)�ıڒ�ʽ���m������,��������(y��ng)���ڸ��N���ӹ�ˇ�У��V�����ڸ��N����,������,���и��ĥ�ȹ����Юa(ch��n)�����m�ͷۉm�ă����Լ���(du��)ϡ�н���,���F�����ϵĻ��յ�,�m���ڷۉm�����Ƿdz�����g���^�MС�Ĺ�λ,����Ч���ÿ��g

�O(sh��)�䃞(y��u)��(sh��)

1��һ�w���O(sh��)Ӌ(j��)�Y(ji��)��(g��u)�o��,���w�eС,�������p����ֱ�ӹ̶��ډ��ϣ����gռ��С,����(d��)�ص��L(f��ng)�C(j��)�Y(ji��)��(g��u)�O(sh��)Ӌ(j��)ʹ������������(d��ng)��С;

2,�����M(j��n)���L(f��ng)�C(j��)�O(sh��)Ӌ(j��),���L(f��ng)���󣬺�늵�,��

3,�����ķ���ϩ�VͲ(�^(gu��)�VЧ�� > 99.9 %),ʹ�É����L(zh��ng)����������0.3μm�ķۉm�w��,���Ž^��(x��)С�ۉm�w����(du��)���˵ēp��,��

4�����ÿ�360�Ȼ��(d��ng)���f(w��n)�������,���ɏğ���l(f��)��̎��������,���������˟��m���ռ��ʣ�

5,����������(n��i)�����Ƶ����W(w��ng)ᘌ�(du��)���w������ʹ��������ʹ�É������L(zh��ng),������ȫ�ɿ���

6,�������՚�ĸ�Š����L(f��ng)�ڷ����������(d��o)�ͷ�ɢ,�������ڙC(j��)����(n��i)�����Ƹ����ް�����������͡�
����ԭ����  
  ͨ�^(gu��)�L(f��ng)�C(j��)�u݆��������,�������U�⽛(j��ng)�f(w��n)�����m�������O(sh��)���M(j��n)�L(f��ng)��,���O(sh��)���M(j��n)�L(f��ng)��̎�O(sh��)��΢���^(gu��)�V�W(w��ng)�M(j��n)�д֞V������������������ۉm���w�������M(j��n)�г�������,�����m���w�M(j��n)��ۉm������,���������������c���Мu�����������������Ȍ������mֱ�ӽ����ӻҶ�,��΢�����m���Vо�����������,���������w��(j��ng)�Vо�^(gu��)�V������(j��ng)���L(f��ng)���_(d��)��(bi��o)�ų���