���ͳ���ˮTOC����������Ŀǰ��(gu��)�H�������M(j��n)�ĸ߹⏊(qi��ng)172nm�β��L(zh��ng)��(zh��n)���������,�ص׿˷����Ј�(ch��ng)�ϬF(xi��n)��TOC���������Â��y(t��ng)185nm�͉�������⏊(qi��ng)�O�Ͷ���ɵĽ���Ч����ļ��g(sh��)ƿ�i,����Ч��������ӹ��I(y��)����ˮTOC������������.����ʹ�É������_(d��)5�f(w��n)С�r(sh��),������ǻ�w����316L���P�,��(n��i)���R�撁���O(sh��)Ӌ(j��).̎���������S�Ñ�Ҫ����.

�ߏ�(qi��ng)��172nm��(zh��n)�����������(ji��n)��:

���L(zh��ng)��172 nm�������������������_(d��)7.2 eV,�����Դ��_�����(sh��)�����I,����һϵ�л��W(xu��)����(y��ng)�ͱ���ӹ�̎���^(gu��)�̵Ļ��A(ch��)��

�ЙC(j��)��ķֽ��������

���W(xu��)������e(Photo-CVD),��

�������,������ӱ�Ĥ���ܵĸ��ơ�

����,��

��(zh��n)���������Դ�Ĺ⏊(qi��ng)ݔ�����_(d��)���y(t��ng)�͉�������1000��,��ʹ̎��r(sh��)�g���s�̣��ӹ��^(gu��)�̴��ӿ�,��

�ߏ�(qi��ng)��172nm�����Դ�ɑ�(y��ng)���ڰ댧(d��o)�w����I(y��)��

������ϴ,��������������c�������îa(ch��n)�����������Ļ��Ի��F(tu��n)��ʹ�ЙC(j��)���������坍����,����ʹ��������I����,��

�⻯�W(xu��)������e,�����L(zh��ng)���N�o(w��)���ε���ӱ�Ĥ����߽�늳���(sh��)Ta2O5��HfO2��,��

���ƻ��W(xu��)�Y(ji��)��(g��u),����(du��)SiO2�M(j��n)��̎���Ը����仯�W(xu��)Ӌ(j��)���ԡ�

���漤��,�������ӱ��揈���͝�(r��n)��,��