��(zh��n)���ӹ��T��(d��o)���W(xu��)������e�Ī�(d��)�؃�(y��u)�c(di��n)��

1,����Ч��ɫ��(zh��n)���������Դ

�О��Ч��(zh��n)������������Դ�ṩ�߹⏊(qi��ng)�Ć�ɫ���������Ч��(sh��)�F(xi��n)�ڂ��y(t��ng)�����Դ�¸������ܮa(ch��n)���Ļ��W(xu��)����(y��ng)��

2�����W(xu��)���Ժ͙C(j��)е�o�p�ӹ��^��,��������x���w�����͸ߜ�?z��)᷽������Ĥ�������ܡ?/p>

3���͜س�Ĥ�^��,�����W(xu��)����(y��ng)��ܵ�,�����ИO��ķ���(y��ng)���ʡ�

4,����Ĥ����,����Ĥ�|(zh��)�������ܱȔM�ͳ��^�ữ�W(xu��)������e����

5,����Դ��˲�g�_����Ϩ��

�ɸ���(j��)��Ҫ�l(f��)���������,�����S�r(sh��)˲�g�_��Ϩ��,����Ҫ�ÿ��T,��

6����Ч��(ji��)��,�����b�`��,��������(ji��n)�㡣

��,����Ҫ���g(sh��)ָ��(bi��o)*:

1,����Դǻ����(zh��n)����������⣨���Ñ�Ҫ�����ã�

2������(y��ng)ǻ/��Ʒ�_(t��i)�ߴ磺2Ӣ���4Ӣ�羧�A

3,���O����նȣ�≤7×10��7mbar�����Ñ�Ҫ�����ã�

4,�����e�ضȣ�200-450oC

5���ضȾ��ȣ�±2��

6,��Ĥ�����ȣ�≤±3��

7,����ˇ����(qi��ng)������0.1-3 mbar

8���������L(zh��ng)�ٶȣ�6 nm/min��Ta2O5Ĥ��

9,�����w��4-10·,���|(zh��)����������������

10�����ϵ�y(t��ng)���ã����ӱ�+�C(j��)е�ã����x��

11,����Ʒ�_(t��i)�D(zhu��n)��(d��ng)��ʽ���oֹ/�\(y��n)��(d��ng)�����x��

12,����sϵ�y(t��ng)��ˮ��

������(y��ng)���I(l��ng)��

1,�� �����Ƃ�댧(d��o)�w�ИI(y��)���a(ch��n)��횵�SiO2,��Si3N4��Ĥ�����c(di��n)�dz�Ĥ�ضȵ�,���ٶȿ�,����Ĥ�|(zh��)����,�������m���ڸ����ܱ�Ĥ�о����²��ϿƌW(xu��)�о�������

2,��Si��SiGe������,��

3���ߺ͵ͽ�늳���(sh��)��high-k,��low-k����Ĥ���Ƃ䣺Ta2O5,��TiO2��PZT,��ZrO2,��HfO2��TaON��HfON��,��

4,����Ĥ�������,���˻�.

�ġ��a(ch��n)Ʒ�f����

1,����Դǻ�����ò�ͬ��Դ����M��,��

1������(y��ng)��ĸ�w���͇���ϵ�y(t��ng),��

1,������(y��ng)�ң����N��Ĥ�ij��e��

2,����ի@�ü��y(c��)��ϵ�y(t��ng)���ṩ���ϳ��e��ˇ�l��,��

3���������ϵ�y(t��ng)�����ܿ��Ɯض�,���D(zhu��n)��,��

4����·����ϵ�y(t��ng),��

5,�����O(sh��)�������նȸߡ����ٿ�,����Ƭ�bж����ȃ�(y��u)�c(di��n),�����߾��ȿ��ƻ�Ƭ�ӟ��_(t��i)���Ԅ�(d��ng)�؜�,�����Пo��Ⱦ,���Ś���С�͜ضȾ�������c(di��n)��