�ʷ��ӹ��T�����W������e�Ī��؃�(y��u)�c��

1,����Ч��ɫ�ʷ��������Դ

�О��Ч�ʷ�����������Դ�ṩ�߹⏊�Ć�ɫ���������Ч���F(xi��n)�ڂ��y(t��ng)�����Դ�¸������ܮa(ch��n)���Ļ��W����,��

2�����W���Ժ͙Cе�o�p�ӹ��^�̣�������x���w�����͸ߜ؟᷽������Ĥ��������,��

3,���͜س�Ĥ�^�̣����W������ܵ�,�����ИO��ķ�������,��

4����Ĥ����,����Ĥ�|(zh��)�������ܱȔM�ͳ��^�ữ�W������e��,��

5����Դ��˲�g�_����Ϩ��

�ɸ���(j��)��Ҫ�l(f��)���������,�����S�r˲�g�_��Ϩ��,����Ҫ�ÿ��T,��

6,����Ч��(ji��)�ܣ����b�`��,����������,��

������Ҫ���gָ��*:

1,����Դǻ���ʷ���������⣨���Ñ�Ҫ�����ã�

2,������ǻ/��Ʒ�_�ߴ磺2Ӣ���4Ӣ�羧�A

3���O����նȣ�≤7×10��7mbar�����Ñ�Ҫ�����ã�

4,�����e�ضȣ�200-450oC

5,���ضȾ��ȣ�±2��

6��Ĥ�����ȣ�≤±3��

7,����ˇ����������0.1-3 mbar

8,���������L�ٶȣ�6 nm/min��Ta2O5Ĥ��

9�����w��4-10·,���|(zh��)����������������

10,�����ϵ�y(t��ng)���ã����ӱ�+�Cе�ã����x��

11����Ʒ�_�D(zhu��n)�ӷ�ʽ���oֹ/�\�ӣ����x��

12,����sϵ�y(t��ng)��ˮ��

��,�������I��

1�� �����Ƃ�댧�w�ИI(y��)���a(ch��n)��횵�SiO2,��Si3N4��Ĥ,�����c�dz�Ĥ�ضȵס��ٶȿ�,����Ĥ�|(zh��)���á������m���ڸ����ܱ�Ĥ�о����²��ϿƌW�о�����,��

2,��Si��SiGe��������

3���ߺ͵ͽ�늳���(sh��)��high-k,��low-k����Ĥ���Ƃ䣺Ta2O5,��TiO2��PZT,��ZrO2,��HfO2��TaON��HfON��,��

4,����Ĥ�������,���˻�.

�ġ��a(ch��n)Ʒ�f����

1,����Դǻ�����ò�ͬ��Դ����M��,��

1��������ĸ�w���͇���ϵ�y(t��ng),��

1,�������ң����N��Ĥ�ij��e��

2,����ի@�ü��y��ϵ�y(t��ng)���ṩ���ϳ��e��ˇ�l��,��

3���������ϵ�y(t��ng)�����ܿ��Ɯض�,���D(zhu��n)��,��

4����·����ϵ�y(t��ng),��

5,�����O�������նȸߡ����ٿ�,����Ƭ�bж����ȃ�(y��u)�c,�����߾��ȿ��ƻ�Ƭ�ӟ��_���Ԅӿ؜�,�����Пo��Ⱦ,���Ś���С�͜ضȾ�������c��