��ʽ���m���ļ��g(sh��)�F(xi��n)��Ͱl(f��)չǰ��
һ,���F(xi��n)��
��1886����F(xi��n)��ʽ���m������ʽ���m���õ��˺ܴ�İl(f��)չ�,��F(xi��n)�����đ�(y��ng)�����sռ����m��������60-70%,���@��Ҫȡ�Q�ڞV�ϵİl(f��)չ����Ҽ��g(sh��)���M�����\�п��Ƶ��F(xi��n)����,��
��ʽ���m�����V����ʽ�֞�A���c���,��Ŀǰʹ�����Ğ�A����ij䓏Sʹ�õ�һ�_���ʹ�ʽ���m��,����(n��i)�bֱ��130×6500�V��4500���l,��
��ʽ���m������ҷ�ʽ�֞飺�Cе��ӡ������������}�_����,���}�_�����ֿɷ֞��ʽ�}�_,�������}�_�����}�_�yʹ�É��s�՚�ĉ�����С,���ַ֞�߉��}�_�͵͉��}�_��Ŀǰ,����С�ʹ�ʽ���m��ʹ�Ú����}�_�^��,�����ʹ�ʽ���m��ʹ�õ͉��}�_�^�ࡣС�͂}��Չm߀��ʹ�ÙCе��ӵ�����,��
��ʽ���m�����\�п���,����С���O(sh��)�������}�_���ƃx�M�ж��r������ң������O(sh��)���ʹ����X���ƃx���ö��r������ƻ��������,��Ŀǰ,�������M����BMC��X���ƃx������8�N���ƹ���,�����ڹ���ʹ���в��ռ�,��
�V�ϲ��|(zh��)�IJ���l(f��)չ���Ƅ����V�ϵİl(f��)չ,������Ȼ�w�S,�������w�S���ϳ��w�S�������w�S,���F(xi��n)���_�l(f��)���˹����}�w�S,�����ߜؼ��ͻ��W(xu��)���g�Ժã���������,���������ܲ�,��߀�y���ƳɞV�ϣ������п���ͨ�^��(f��)���w�S�Ƴ��µĞV�ϡ�
�V�ϏęC�����V�ϰl(f��)չ��ᘴּ̚�ᘴֵ̚ĺ�̎�����g(sh��),��ʹᘴ̚־����S����(y��u)������,�������⻬���ͻ��W(xu��)���g,����ˮ����,����ĥ���ܡ����o늵�,���U����ᘴ֞̚V�ϵđ�(y��ng)�÷���,����(f��)���ߜ�ᘴֵ̚����a(ch��n)�c��(y��ng)�ã�ʹ�V�Ͼ����Գ���,���Мص��ߜص�����ϵ��,����Ĥ�V�ϵđ�(y��ng)�ã�ʹ��ʽ���m���ij��mԭ���Դ��V�ϵ��^�V,��һ�ηۉm��,����ᘴ̵����S�^�V��һֱ�l(f��)չ����Ĥ�V�ϵı����^�V,��ʹ���mЧ�ʏ������50%-80%,������������0.1μm�ķۉmҲ�ܫ@��99.9%���ϵ�Ч�ʡ�
��ʮ�����,���V��,����ʽ���m������ʹ�ʽ���m�����a(ch��n)��I(y��)�l(f��)չ�ஔ(d��ng)Ѹ�١��㽭ij�h����,��ԭ��ֻ��һ�Ҵ�ʽ���m�����a(ch��n)��I(y��),���F(xi��n)����20��ң�2007����a(ch��n)ֵ��Ӌ4�|��Ԫ,�����ЃɼҹǸ���I(y��)�sռ80%,�����������ȫ����ͬ����I(y��)���a(ch��n)��ͬһ��͵Ĵ�ʽ���m���Y(ji��)��(g��u)������ͬ,������ȫ����ʹ��һ�D������,���f���ܶ���I(y��)ȱ�ٮa(ch��n)Ʒ��(chu��ng)�£���(d��o)���˺ܶ���I(y��)��ͬһˮƽ���ϵIJ�������,��ͣ����ǰ,��
������(chu��ng)���cչ��
��ʮ���,���e�ǽ�ʮ�����,���҇���ʽ���m���ڞV�ϡ��}�_Ԫ�����\�п��Ƽ��g(sh��)����,�����o������l(f��)չ����,�����ڳ��m���Ę�(g��u)��,�����칤ˇ�������Π�Ȏ���������İl(f��)չ���@��Ҫ��һЩ��I(y��)ȱ���L�h(yu��n)Ҏ(gu��)��,��ֻ���ǰ����,��ȱ����(chu��ng)���˲ź��аl(f��)�������ֲ�Ը����Ͷ���ƸՈ�˲�����,����ʽ���m��������ʹ��һ�ٶ����,�����]���҇���ԭ��(chu��ng)���g(sh��)��
ȥ�����ڴ�ʽ���m���S�����s5����,�������˽��ʽ���m�����a(ch��n)�^��,�����ЌW(xu��)��(x��)�˺ܶ��|����ͬ�rҲ�o�����S����(chu��ng)�µ��`�к̈́�(chu��ng)��,���Ķ��a(ch��n)������ʽ���m����չ��,���Ұ������V��ң������ǰ��TŪ��,����Ը���𒁴u���������,���еĄ�(chu��ng)��������e�`�ģ���Ո����ָ��,���еĄ�(chu��ng)�⌦���ҁ��f,��������С���ơ��Ї��о���Ԓ,���Пo֪�ߟoη,�������@ô����(chu��ng)��������һ�c�õ����ҵĿ϶����������ο,����(chu��ng)��ķ����У�
��һ���O(sh��)Ӌ�����a(ch��n)�пv������ǵĔ�(sh��)�ؙC
�F(xi��n)����Vʽ�ĈA�ΞV��ʹ����࣬�^�ֲ����пv��Ļ\��,������(j��)�V��ֱ����С��ͬ,���v�(sh��)���ٲ��ȣ�һ���8-12��,�����������J(r��n)�����ӿv�(sh��)���������ӞV���ĉ���,��Ҫ��v��Ĕ�(sh��)������12-16���,��v��Ĕ�(sh��)��Խ��,�����ٲ�������Խ�࣬���칤����Խ��,��
�v��\�ǵ������Ǐ�(f��)�s��,��Ŀǰ��ȫ��������S������ͬ�����a(ch��n)��ˇ,��һֻ��ǵ�֧��Ȧ��5������,��5�_�O(sh��)�䡢5����λ���T��ÿ���v��ҲҪ��(j��ng)�^�P�l�{(di��o)ֱ,�����L���Ђ���,���\�ǃɶ˵ĈA�εױP���ϭh(hu��n)ȦҲ����䓰�_�����ϡ������Cģ������,�,��\�ǽM�b���Ӻܷ��s�����ȹ���Ҫ�����Ƃ�õĿv�Ҫ��һ��һ�������ֹ����딵(sh��)�غ��C�A(y��)���Ŀ��У������ֹ��b��һֻ���A(y��)�ƺõ�֧��Ȧ,��Ȼ���ɶ��^��(sh��)�غ��C,��һ�Ό�ȫ���v���c֧��Ȧ�c���۽ӣ��Cе�Ƅӿv��ǰ���O(sh��)�����x,�����؏�(f��)�����������ӵڶ���֧��Ȧ,��֧��Ȧ�g��һ���200mm���ҡ��������O(sh��)����֧��Ȧ,��Ȼ���ٌ��ױP���ϭh(hu��n)Ȧ����,���@ֻ�\�Dz���M�b�ꮅ�����߀Ҫ����(j��)��Ҫ�Q������̎����ˇ,������߀��Ϳ�ߜ�Ϳ��,������̎����ɺ��dz�Ʒ�\��,��
1.�O(sh��)Ӌ��(sh��)�ؙC��Ŀ��
��1��ʡȥ����֧��Ȧ��ȫ����ˇ�^��,�������نΪ�����֧��Ȧ��
��2��ʡȥ�v���Ƃ���{(di��o)ֱ,�����L���й���,��
��3��ʡȥÿֻ�\�ǽM�b���ӕr�ֹ�һ�����ش��v�һ�������b֧��Ȧ��
����Ŀ������\�ǵ����a(ch��n)Ч��,���p�p���˵Ąڄӏ���,����(ji��)ʡ�S�����p�ٹ��T,��һ��Ԓ,��������I(y��)��������
2.�O(sh��)Ӌ�����r
���п��w�O(sh��)Ӌ����,��Ԕ��(x��)�O(sh��)Ӌ����Cе���I(y��)���Կ،��I(y��)���,��Ŀǰȱ���Y��M���O(sh��)Ӌ���a(ch��n)Ʒ�����ơ�
����������ʽ���m��
���y(t��ng)�ĈA�ΞV��,�����b�\�Ǻ��Ԟ�A����,�����ޞV�������r��ֱ���^��ĈA���棬���b�\�Ǻɶ��ޠ�,�����^�V��e������60%����,��
�\��,�����塢�ܷ��^��(f��)�s,�����c�\�ǰ��b�M�r,��
�������o�轉���ď��ɻ\�Ǵ�ʽ���m����Q�����͏��ɻ\��ȡ���пv��Ļ\��
���ɻ\�����칤ˇ���Ρ���Ч,���r��,�����b�O(sh��)���١����T��,���S����e��,��Ͷ�Y�١�������,�������bʹ���韩,�����b�r�������ˆTҪ�@�����w��(n��i),����һ��ÿһ���V�����Ͽں͏��ɻ\�ǃɶ˵Ē��^���F�z������,���e�Ǹ��Q�f���r����V���c���w�ѱ��ۉm��Ⱦ,�����Q���I(y��)�l���ܲ�,��
���͏��ɻ\�ǣ��������пv��\�ǰ��b�V���ǘ��p��,����Ч,���ҟo���@�M���w��(n��i)������ͬ�r�����ˏ��ɻ\�ǵă�(y��u)�c,�����(j��)�Y�Ͻ�B,�����ɻ\��ʹ�V������ĥ�p��
���ģ����M��,���p�����л\�ǃ�(n��i)�Vʽ��ʽ���m��
��(chu��ng)���O(sh��)Ӌ�˴�ʽ���m���µĽY(ji��)��(g��u)��ʽ,������������w�M�룬�����w��(c��)���ų�,���҉m���������w���o������,��������������c�҉m���䷽��һ��,�������ʽ����ҷ�ʽ�ɲ��Ú����������}�_����,�������혇����,���t������ͣ��ھ���Ҍ������^��Ӱ���С,�����Բ���Ҫ�x�����,�����ù�ʽ�}�_���,�����m���o������O(sh��)Ӌ�����ù�ʽ�}�_����,���ܳ�������}�_��ҙC���еĵ�һ�Λ_��,�����s�՚ⲻ�Hֱ�ӌ��e�m�M�д��ߣ�����������һ��(ji��)���ɻ\�ǵĴ���,��������V�����������,��������������Ч����
�����л\���^ͨ���o�\�ǃ�(n��i)�Vʽ�V���^�V�ٶȸ�,���V��ʹ�É����L,��
���壩���A(y��)������ʽ���m��
�F(xi��n)�еĴ�ʽ���m�����o�A(y��)�����b�á���Ҫ̎���ߝ�ȷۉm���w�r,��ͨ���O(sh��)Ӌ�����O(sh��)һ�����L(f��ng)���m�����A(y��)̎��,��̎���L(f��ng)��Խ�μ����L(f��ng)���m����ֱ��Խ��,�����mЧ��Խ��,�����L(f��ng)���m��������һ�㣾1000pa���������϶�һ���O(sh��)��,��ռ�е���e�����g�^��,��Ͷ�YҲ���ӡ��A(y��)������ʽ���m��,���A(y��)����Ч�ʌ�ˮ��ۉm��50%,���������ϲ���ռ��e�Ϳ��g���O(sh��)��Ͷ�Y�����^��,�������^�ɼ�������500pa����,�����mЧ���^�o�A(y��)�����ĸߣ��ҞV��ʹ�É���������,��

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”