�߉��}�_��늵��x���w�����P(gu��n)�O(sh��)��
1. ���x���wȡ���|(zh��)�V�x ���p�lCCP����ھ��\�ࣩ
�`���ȸߣ��O��(w��n)����3��(j��)�^(gu��)�V�ĘO�U,���}�_�x��Ӌ(j��)��(sh��)�z�y(c��)��,��7��(g��)��(sh��)����(j��)�Ą�(d��ng)�B(t��i)��������������,�����i�b�ÿ��ṩ�^(gu��)�����o(h��),���������x���^(gu��)���е��x���������|(zh��)���ֲ������������|(zh��)���ֲ�,��
![]() |
2.�����ܵ��x���w���V�y(c��)��ϵ�y(t��ng)SP2500i
�O(sh��)����ԙz�y(c��)��������t��İl(f��)����V,����Ҫ����У�������500 mm���pݔ�����V�x��ɫ�x�����K���,�����V��(zhu��n)�ñ��й���`����CCD,�����⡢��Ҋ(ji��n)�����t���늱����ܼ��丽�ٹ��߉��Դ���։���,���z�y(c��)���w,������(y��ng)��ݔ���cݔ����·�,������ù�늱�����ݔ��,���õ��ߵķֱ��ʣ�Ҳ������CCDݔ��,�����Եõ�������Ȳ��ҿ���˲�r(sh��)��(du��)���^���Ĺ��V�����M(j��n)��ȡ��,��������̖(h��o)����(d��ng)����(l��i)���`��O(sh��)��������ڴ�≺�c�͚≺���x���w�������Ե��о����ɼ�����̖(h��o)�Ĺ��V,��Ҳ�������ھ���(x��)���V�Ĝy(c��)��,������ӵ��D(zhu��n)��(d��ng)���V���@��(du��)�����≺��������x���w�еijɷּ�����(du��)�����о��Լ����x���w�ضȹ��V�y(c��)�����Ƿdz������,��
![]() |
3.���x���w�����\��ϵ�y(t��ng)
Plasma-master���Ԍ�(du��)���N�����ʽ�ĵ��x���w�M(j��n)�Еr(sh��)�g,�����g���q�Ĺ�W(xu��)�����\�࣬߀�����M(j��n)�п��g���q�İl(f��)����V��OES��,�������T��(d��o)�ɹ⣨LIF�����V�ͼ���ɢ����V�\��,��
![]() |
��Ҫ����(sh��)�����g���q�ʞ�0.2mm���r(sh��)�g���q��5ns, ���V�W(xu��)���L(zh��ng)���� 200~1100nm, ���Ⲩ�L(zh��ng)���跶��220nm~650nm, ̽�y(c��)�`����10ppb
4.��(qi��ng)���}�_������b�ã���������ڣ�
![]() |
��һ�N�����������b��,�����ܮa(ch��n)�����}�_,������������(qi��ng)�������,�����ڽ���,���댧(d��o)�w���ϱ�����ԡ����揊(qi��ng)��,���Ͻ�,����ϴ�������۸������ٴ���,��

ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”