��̫�(y��ng)��늳���ˮ̎��
һ,�� ��̫�(y��ng)��늳����a(ch��n)���ڸ��g��ϴ��ȥ�貣����ʯӢ����ϴ�ȹ�ˇ�^(gu��)�����ʹ��KOH,��IPA,���t�ᡢHF,��HCl,��H2SO4�Ȼ��W(xu��)ˎƷ������(y��ng)�Įa(ch��n)����IPA��UҺ��ˮ�ͺ����UҺ��ˮ,�����t��ˮ��,��
���� ��̫�(y��ng)��늳ص���Ҫ���a(ch��n)�������£���ϴ����ϴ����ҪĿ����ȥ����Ƭ�ϵ�����ƽq���辧̫�(y��ng)��늳ص��ƽq��ˇ�Ǽ����t���HNO3,��HF,��H2SO4�ď�(qi��ng)��������Һ���и���Ƭ�ϵ�����������ڹ�Ƭ���γɜp������(g��u),��
�U(ku��)ɢ���הU(ku��)ɢ���ڹ�Ƭ��ӓ��뼃�s�|(zh��)ԭ�ӵ��^(gu��)��,��
���g��ȥPSG������HF��Һ��(du��)��Ƭ߅���M(j��n)�и��g,��ȥ����Ƭ߅����PN�Y(ji��),��ȥPSG�nj�(du��)���g���Ƭ�ϵ��貣���Ú�������ϴ�ķ����M(j��n)�������
���x�ӻ��W(xu��)������e(PECVD)��PECVD��ʹ�Á�(l��i)�ڹ�Ƭ�ϳ��e���������,��
�z�W(w��ng)ӡˢ����ͨ�^(gu��)�z�W(w��ng)ӡˢ�C(j��)���y�{���X�{�Ȍ�(d��o)늲���ӡˢ�ڹ�Ƭ��,��
�����Ծ��w��̫�(y��ng)��늳���ˮ̎�����,����B����“��������+��A�к�+��������̎����ˇ”,��
̫�(y��ng)��늳���һ�N��(du��)����푑�(y��ng)���܌������D(zhu��n)�Q��������������ܮa(ch��n)�����Ч��(y��ng)�IJ������S��N,���磺?ji��n)ξ���,���ྦྷ��,���Ǿ���,���黯扡�����~��,���ξ���,���ྦྷ��̫�(y��ng)��늳أ��y(t��ng)�Q�龧�w��̫�(y��ng)��늳�,�������İl(f��)�ԭ��������ͬ,��
���w��̫�(y��ng)늳ص����a(ch��n)�^(gu��)�̴��¿ɷ֞��傀(g��)���E�����ἃ�^(gu��)��;�������^(gu��)��;����Ƭ�^(gu��)��;����늳��^(gu��)��;�ݷ��b�^(gu��)�̡�
1���港�g��������늳�֮ǰҪ���M(j��n)�й�Ƭ�ı����(zh��n)��,��������Ƭ�Ļ��W(xu��)��ϴ��Ƭ�ı��港�g,��ͨ�^(gu��)���W(xu��)��ϴȥ�������ڹ�Ƭ�ϵĸ��N�s�|(zh��)��ͨ�^(gu��)���港�g��ȥ��Ƭ������и�p��,���@���m���ƽY(ji��)Ҫ��Ĺ����,��
2�ƽq��?ji��n)ξ�����ƽq��ˇ�ljA�ƽq�����Ú������c(���)��Һ��(du��)�ξ���Ƭ�M(j��n)�и����Ը��g��(l��i)�Ƃ�q;�ྦྷ����ƽq��ˇ�����ƽq,��ͨ�^(gu��)�����t��͚����,�������t��ď�(qi��ng)�����Ԍ��и���Ƭ�ϵ������������(d��o)�¹�Ƭ����a(ch��n)�����θ��g��,���Ķ�ʹ��Ƭ���挦(du��)�⾀����������(qi��ng),�����ͱ��淴���ʣ��_(d��)���ڹ�Ƭ���γɜp���C(j��)��(g��u)��Ŀ��,��
3ȥ�貣��(PSG)��ȥ߅��P-N�Y(ji��)��һ���nj���Ƭ����ϡጵ�HF��,����ȥ���貣��,���c��ͬ�r(sh��)��ȥ���U(ku��)ɢ�^(gu��)���й�Ƭ��߅�����γɵĔU(ku��)ɢ��,��������늳���ؓ(f��)�O��·,��
����ˮ�к����y�������ƾ��Ҷ����ȸ߷����ЙC(j��)�ۺ��һ�����̎�����^�L(zh��ng)ͣ���r(sh��)�g���܌��ЙC(j��)��ȥ��,�����,���O(sh��)Ӌ(j��)���M(j��n)�Ѕ����A(y��)̎�����څ������Ľ�����ʹ�ۺ���̼朔��ѳ�С���ӵĴ��,���������x�ӵ�,��ͬ�r(sh��)�ֽⲿ���ЙC(j��)�������ˮ�е��ЙC(j��)�ﺬ��,��
��,������̎������������ʽ�������ല����(y��ng)��(UASB)������+����+ȱ��+����̎����ˇ,�� �������෨,��“UASB—��������—����—ABR—���|����—�⸡—����V��—�B�m(x��)ɰ�^(gu��)�V”�༉(j��)��������M��̎����ˇ�ȡ�
ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”
