�����ЏV˼�Ƽ����޹�˾

�V˼�Ƽ����F��һ�Ű����ꄓ(chu��ng)�����¼���,����һ�Ҍ��T�������ҏS�������O(sh��)Ӌ��ʩ��,���yԇ,����C�Լ��o�m�����P(gu��n)�x�����O(sh��)��,��ϵ�y(t��ng)���N��,�������ۺ����(w��)�ȵĿ���C���Լ��F��˾����(j��ng)�^����ʮ�����(j��ng)򞲻��e��,���V˼�Ƽ����F�ѳɞ�һ���ڝ������I(l��ng)�򼰷��o늳��o��ƏV���渻�Ќ����ļ��F��˾,��һ�ž�һ�꣬�����F��˾���@��������NEBB*�ĺ˜�,���ɞ������ֹ���޵؅^(q��)Ψһ�ߴ��Y���CPT**�C��(g��u),��

�V˼�Ƽ����F֮���̼��N�ۘI(y��)��(w��)�鼰�|�ρ������,���_��,���Ї���ꑼ�ӡ�ȵȇ��Ҽ��؅^(q��)�����քe�ڷ����e,���R������,��̩�������,���Ϻ�,���K�ݡ�����,���|ݸ�ȵ��O(sh��)�зֹ�˾���k��̎,��

�V˼�Ƽ����F�����������o늳��o늮a(ch��n)Ʒ�����̣�һ����SIMCO��˾�ĵ�һ�����̣�����ߙn���o늵ذ�������һ���� ʿFORBO��˾�A�ϵ؅^(q��)������,��

*NEEB: national environmental balancing bureau

**CPT: clean room performance testing

l  �I(y��)��(w��)����

²  ���o늳��o늃x��,���x�����O(sh��)��,��ϵ�y(t��ng)

   ���������o늮a(ch��n)Ʒ����������SIMCO��˾��һ������.

   ������

-: ���o��x���L�C

-: ���o��x���L��

-: ���o��x���L��

-: ���o��x���L��

-: ��������ʜyԇ�x

-: ���w�o늉��yԇ�x

-: �o늈�늉��yԇ�x,�ȵ�

²  �o�m��,ˎ�S,�댧(d��o)�w�ИI(y��)���P(gu��n)�x���O(sh��)��ϵ�y(t��ng)

������

1),,A.T.I_����ATI��Ч�^�V���z©�x�O(sh��)��

2),Clean Fogger����Applied Physics Inc ��˾�o�m�Ҍ��ß��F����

3),ADM_ ����shortridge Instruments Inc. �՚��f�ñ� 850C-860C-870C-880C

4),PMS ����particle measuring syytemINC. �՚�����Ӌ��(sh��)ٮ

²  ���w & ΢��Ⱦ���P(gu��n)�z�y�x��

1),A.I.I Advanced Instuments Inc.���Ԛ��w�����������x

2),Tiger Opticd_Meeco ���Ԛ��w��ˮ�������x

3),Nupure ���Ԛ��w���黯�x & ������

²  �h(hu��n)�� & �h(hu��n)�����P(gu��n)�x���O(sh��)��ϵ�y(t��ng)

1),-: ΢�L�ٶȜضȝ�Ȝyԇ�x ����degreeC

2),����͸ָ��(sh��)�y���x ����SDI ��ɫ��

3),: ������ʿ�D DFĤ duraflow

4),�w�������x