�����a(ch��n)Ʒ��������

����ALICAT 11ϵ�л������|(zh��)������������,������ALICAT 11ϵ�И˜����|(zh��)������������,�����Ã�(n��i)���a���͌�����������g(sh��),��ʹ�ô����������š��w���f���֌����\�ӡ���(n��i)�õĽ^���͜ضȂ���������a�������͜ض�������w�e�����c�|(zh��)�������g�IJ,�������Ñ��˜ʹ��r�M������������Alicat�|(zh��)����������
��������NIST����ԴУ���C��,��Alicat��11ϵ�Д�(sh��)��ʽ�|(zh��)�����������������ڿ��پ��_�؜y���������^�̚��w���|(zh��)������,�����ÿ��ٷ�(w��n)���ă�(y��u)�|(zh��)늴��y�Լ���(y��u)����PID�{(di��o)У�����_����(y��u)��100ms�Ŀ����ٶ�,�������֘O�ѷ�(w��n)����,��

�a(ch��n)Ʒ���c ��

�� �̓rλ�a(ch��n)Ʒ
�� ����ģ�M���Ʒ�ʽ����(sh��)�ֿ��x
�� �����̱� 200:1
�� 푑�(y��ng)�r�g�� �H��100ms(���{(di��o))

���g(sh��)����(sh��) ��

���|(zh��)Ҫ�󣺷Ǹ��g��,������,������Ě��w

���|(zh��)�N��ηN���w�˶�,��Ո����������w���ݱ�

���̣���0-10SCCM �� 0-20SLPM��Ԕ��Ո��ԃ��

���̱ȣ�200:1

����@ʾ������102.4%FS

���ȣ�± (0.8%RD+0.2%FS)��RD-�x��(sh��) FS-�M����

�؏�(f��)�ԣ�± 0.2% FS

���cƯ��&�M����Ư�ƣ�0.02% FS / oC / Atm

�A(y��)��r�g��<1s

푑�(y��ng)�r�g��100ms(���{(di��o))

�˶����r��25oC & 100kPa �^��

�����ضȣ�-10 �� +50 oC

������ȣ�0-100%,�o����

�˜������������1MPa �퉺

�˜ʘO���͉���1.2MPa �퉺

�Љ��x헣�2MPa

ģ�Mݔ��/ݔ����̖��0-5Vdc��1-5Vdc��0-10Vdc��4-20mA

��(sh��)��ݔ��/ݔ����̖�����xRS-232

���늉���7-30 Vdc (���x4-20 mAݔ��,��횞�15-30 Vdc)

��������250mA

늚�ӿڣ�DB15

���|(zh��)��302���P�,��Viton�����zRTV,��������������,���X��

�S�~,�� 430FR ���P�,�� �衢 ����

���b��ʽ����λ�ßoҪ�� ���o�ȼ���IP40

��(y��ng)�ü����� ��

�� ��W(xu��)/���
�� �h(hu��n)���O(ji��n)�y
�� ����Ĥ
�� ���I(y��)�t�G
�� �댧(d��o)�w
�� ��܇����
�� ���
�� ȼ��늳�
�� Ӌ��
�� �^�̹�ˇ���w�y��