���a(ch��n)Ʒ��������

����ALICAT 21Sϵ�п����g���|(zh��)�����������������Ã�(n��i)���a���͌�����������g(sh��)��ʹ�ô����������š��w���f���֌����\��,����(n��i)�õĽ^���͜ضȂ���������a�������͜ض�������w�e�����c�|(zh��)�������g�IJ,�������Ñ��˜ʹ��r�M������,������Alicat�|(zh��)������������������NIST����ԴУ���C����Alicat��21Sϵ�Д�(sh��)��ʽ�|(zh��)�����������������ڿ��پ��_�؜y�������Ƹ��g�Ԛ��w(��NH3,��H2S,��SiH4��)���|(zh��)���������w�e����,������,�����@ʾ���w�ضȣ��m���ڶ�N�����y�؈���,��

�a(ch��n)Ʒ���c ��

�� ��(sh��)�ֻ��a(ch��n)Ʒ
�� ������(sh��)�@ʾ��ݔ�����ض�,��������������
�� ������(sh��)����:�w�e����,���|(zh��)�������͉���
�� ���x�߾��ȣ���(y��u)��0.5%
�� �����̱� 100:1
�� 푑�(y��ng)�r�g�� �H��100ms(���{(di��o))
�� ��(n��i)��130�N��Ҏ(gu��)�Լ����g�Ԛ��w������|(zh��)���Ț�CL2 �� ��������SO2,��ӆ؛�r���������f����
�� �ɬF(xi��n)���˶���Ϛ��w,�����惦20�N��Ϛ�
�� ���m�����T�ฯ�g�Ԛ��w

���g(sh��)����(sh��) ��

���|(zh��)Ҫ�󣺝���,������Ě��w�����g�ͷǸ��g�Ծ���

���|(zh��)�N���(n��i)����130�N���w,��Ո��ԃ

һ�_�O(sh��)���(n��i)�����К��w,���Ñ��ɬF(xi��n)���x��

���̣���0-0.5SCCM �� 0-5000SLPM��Ԕ��Ո��ԃ��

���̱ȣ�100:1

����@ʾ������102.4%FS

�@ʾ����ͬ�r�@ʾ�|(zh��)���������w�e����,������,���ض�

���ȣ�± (0.8%RD+0.2%FS)��RD-�x��(sh��) FS-�M����

�߾��ȣ�±(0.4%Rd + 0.2%FS),���x��

�H�m�������̞�5SCCM-500SLPM���O(sh��)��

�؏�(f��)�ԣ�± 0.2% FS

���cƯ��&�M����Ư�ƣ�0.02% F.S / oC / Atm

�A(y��)��r�g��<1s

푑�(y��ng)�r�g��100ms

�˶����r��25oC & 100kPa �^��,��20oC & 100kPa �^����0oC & 100kPa �^�� (���N���r�F(xi��n)�����ГQ)

�����ضȣ�-10 �� +50 oC

������ȣ�0-100%,�o����

�˜������������1MPa �퉺

�˜ʘO���͉���1.2MPa �퉺

�Љ��x헣�2MPa

��(sh��)��ݔ��/ݔ����̖��RS232,��RS485,��Modbus��Profibus*

ģ�Mݔ��/ݔ����̖��0-5Vdc,��1-5Vdc�� 0-10Vdc,��4-20mA

���늉���7-30 Vdc (���x4-20 mAݔ��,��횞�15-30 Vdc)

��������250mA �� 750mA

늚�ӿڣ�8�Mini-DIN��DB9,��DB15,��6ᘹ��I(y��)���^

���|(zh��)��316L���P�,��303���P�, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

�ɸ���(j��)������w�x��Viton, EPDM, Buna, Neoprene

���o�ȼ���IP40

* ���xProfibus���t�oģ�M��̖,���o�@ʾ,���乩�늉���

����������ԃ�҂�

��(y��ng)�ü����� ��

�� ��W(xu��)/���
�� �h(hu��n)���O(ji��n)�y
�� ����ИI(y��)���Ĥ
�� ���I(y��)�t�G
�� ��܇����
�� Ӌ��
�� �^�̹�ˇ���w�y��