�댧�w�����O(sh��)��ͨ�L���ܜy��ϵ�y(t��ng)��������

����

�S������Ч�ʵ���ߣ��Լ��Ś�ͨ�L�O(sh��)ʩ����������׃�ø������@,���댧�w�O(sh��)����Ś�ͨ�L�ă�(y��u)��׃��Խ��Խ��Ҫ,���O(sh��)����Ś�ͨ�L�O(sh��)Ӌ�����������ܕ���ɲ����ˆT�Ă���,�������O(sh��)�������������S�ğ���,��

�댧�w�ИI(y��)��Ҫ�y���C�_ͨ�LЧ�ʣ��M��SEMI S6 Ventilation�ИI(y��)�˜�,��

SEMI S6 Ventilation��ʹ��ʾۙ���w�y����ɢ���ŷŵ�ԇ򞷽��,�������� HPM����ȼ�ױ����w�İ댧�w�b��ͨ�LЧ�ʡ�

SF6����ʾۙ���wģ�Mй©���w,�����,����SF6�z�y�x�ęz�y����Ҫ��O�ߡ�

�댧�w�����O(sh��)��ͨ�L���ܜy��ϵ�y(t��ng)���������z�y����

���`���ȵĹ�•���V���w�z�yϵ�y(t��ng),����һ�������ھ����r�y��ʾۙ���w���׃��,���Ķ��u��ͨ�LЧ�ʵĜʴ_���ɿ�,����Ч�Ľ�Q����,��

��•���V���w�����x����ͬ�r�z�y���9�N���w��ˮ�����z�y���w�N��Ǐ�һ�����^300�N�Ě��w��(sh��)��(j��)�������Ñ��x��,������SF6��ʾۙ���w֮��,��߀����ͬ�r�z�y�҃�(n��i)�����Ě��w��ȣ�����CO₂,����ȩ,����ϵ���VOC�����u�r�댧�w�C�_ͨ�LЧ���ṩ����Ĕ�(sh��)��(j��)֧��,��

�����y��ϵ�y(t��ng)�ɹ�•���V���w�z�y�x,�����c�ɘ���������ܛ���M��,�����Ñ�Ҫ�����r��,��߀���Լ���ጷ��b��MFC����·��һ�w����Q����,��

��(y��ng)��

l �댧�w�����O(sh��)��ͨ�L���ܙz�y�����H�댧�w�f(xi��)��SEMI S6�˜ʣ�

l SF6й¶�z�y