����

        �ھ�·����g�̹�ˇ��,���g��Һ���~��������u���������ڮa(ch��n)Ʒ��(x��)�@�y·����,���S���g��Һ�ɷ��c������ˇ����(sh��)�Դ_���g�������c�g�����ӷdz���Ҫ�������3 mil L/S ��,�� ͨ�^����Ļ��ռ��a(b��)���g��Һȡ�������ѱ�̎�����ϻ��g��Һ,����Elo-Chem �C��ϵ�y(t��ng)���g��Һ������ѭ�h(hu��n)�����g�̙C(j��),�����H���ijɱ��c�Uˮ̎���M(f��i)����,�� ���������~�������(w��i)�\(y��n)�еĸ��a(ch��n)Ʒ�u��,��

�a(ch��n)Ʒ��(y��u)�c(di��n)

        ��(w��n)�����g�����ʼs��60 μm/min (��(j��)�O(sh��)����w��(g��u)���c��������(sh��) ���¸���5μm/min)

         -35 μm�g�̽Y(ji��)��(g��u)�c50μm�g�̱���һ��

        ���b��(w��n)���Ը߁K���g�����ʲ��ӹ�(f��n)����С���� ± 1 μm/min, ���䌦΢�Q<3.0mil L/S ��.

        ���a�����ƅ���(sh��)������(zh��n)

        �g�̅���(sh��)������3 – 4

        �ڝ�Ĥ,����Ĥ����a��僽����̎���е� ���g�����^С�ēp��