���w�|(zh��)��������������Mass Flow Controller�s��(xi��)��MFC�����ڌ�(du��)�ښ��w���|(zh��)�������M(j��n)�о��ܜy(c��)���Ϳ���,�����w�|(zh��)������Ӌ(j��)��Mass Flow Meter�s��(xi��)��MFM�����ڌ�(du��)�ښ��w���|(zh��)�������M(j��n)�о��ܜy(c��)��,���U(ku��)ɢ,������,������������,��CVD,�����x�ӿ��g,���R��,���x��ע��,���Լ�����Ĥ�O(sh��)��,�����w�۟���΢����(y��ng)�b��,��������ϵ�y(t��ng),��ë��(x��)�ܜy(c��)������ɫ�V�x���⌧(d��o)�w�S�����O(sh��)����,�����V������ʯ�ͻ���,��ұ��,����ˎ�ȡ����c(di��n)�����ȸ�,���؏�(f��)�Ժ�,��

1���Y(ji��)��(g��u)

MFM���·��,��������,���M(j��n)����ܵ����^��������ͨ���C(j��)���Ȳ����M��,��ֻ�܌�(du��)���w�|(zh��)�������M(j��n)�Мy(c��)��,����MFM���A(ch��)�ϼ����{(di��o)��(ji��)�y��(g��u)��MFC���ȿ��Ԍ�(du��)���w�|(zh��)�������M(j��n)�Мy(c��)��,��Ҳ�܌�(du��)�����M(j��n)�п���,��

2������ԭ��

�����M(j��n)���M(j��n)��ܵ����^��󲿷��������^(gu��)������ͨ��,�����к�Сһ�����M(j��n)���������(n��i)����ë��(x��)䓹�,�����ڷ�����ͨ��������Y(ji��)��(g��u)�����Ԍ�(sh��)�F(xi��n)�@�ɲ��֚��w�������������P(gu��n)ϵ,����������(j��ng)�^(gu��)�A(y��)��Ӝ�,������Ĝضȸ����M(j��n)��Ě����ضȣ��˕r(sh��)ͨ�^(gu��)ë��(x��)䓹܂���͜ز����ᷨԭ��y(c��)���@һС���֚��w���|(zh��)������,�����@�N�k���y(c��)���Ě��w�������Ժ��ԜضȺ͉�����Ӱ�,�����������y(c��)�õ������z�y(c��)��̖(h��o)ݔ���·�壬��(j��ng)�^(gu��)�Ŵ��ݔ��,���������MFM�Ĺ���,�����·���м���PID�]�h(hu��n)�Ԅ�(d��ng)���ƹ��ܣ��т������y(c��)�õ������z�y(c��)��̖(h��o)�c�Ñ�(h��)�o�����O(sh��)����̖(h��o)�M(j��n)�б��^,���Դ˞���A(ch��)�����{(di��o)��(ji��)�y,��ʹ�������z�y(c��)��̖(h��o)�c�O(sh��)����̖(h��o)��ȣ��@�ӱ㌍(sh��)�F(xi��n)��MFC�Ĺ���,��

�����A�����o(j��)�Ƽ����޹�˾��һ�Ҽ��O(sh��)Ӌ(j��),�����a(ch��n)���N(xi��o)�ۙC(j��)��O(sh��)��,���x���x��,����(sh��)�(y��n)���O(sh��)���һ�w�ľC���Լ��g(sh��)��I(y��)�������A�����o(j��)�Ƽ����޹�˾�����аl(f��)��MFC,��MFM���з�(w��n)���ɿ�,��푑�(y��ng)�r(sh��)�g�̣���(bi��o)�����Ⱥ��؏�(f��)���ȸߵ����c(di��n),�����b����,���o(w��)���bλ�ú�ֱ�ܶ�Ҫ��,��������(ji��n)�Σ�����������@ʾ�x�������@ʾ�x��ʹ��,��Ҳ�����Ӌ(j��)��C(j��)ʹ��,��

���P(gu��n)����