�������g(sh��)�O(sh��)��l(f��)չ�͑�(y��ng)��څ��
�������g(sh��)�ַQ�����a(ch��n)�h(hu��n)������Ⱦ���Ƽ��g(sh��)���ǽ���,����ʮ����S�����¼��g(sh��)�l(f��)չ������һ�T�C���Ե����d�ƌW(xu��)���g(sh��),���������g(sh��)���T�о����ṩ���������a(ch��n)��ˇ�h(hu��n)�������a(ch��n)�^����ʹ�õĸ��N�����|(zh��)����Ч�ؿ������s�|(zh��),���Ա��C�߿Ƽ��a(ch��n)Ʒ�ij�Ʒ�ʺͿɿ���,���������g(sh��)ͨ���������՚�������g(sh��)�����{(di��o)���g(sh��),��ˮ�������g(sh��),�����w�������g(sh��)�����s�|(zh��)���Ƽ��g(sh��),�������h(hu��n)���ıO(ji��n)�y���g(sh��)�����P(gu��n)�ĭh(hu��n)���|(zh��)���Ŀ��Ƽ��g(sh��),���������̼��g(sh��)����ӡ�����,�����պ���,�����﹤�̡���ˎ,�����ܙCе,��������ʳƷ,����܇����ȸ߿Ƽ����I(y��)�I(l��ng)�F(xi��n)���ƌW(xu��)�I(l��ng)���еõ��V����(y��ng)��,��
���ڰ댧(d��o)�w�O(sh��)����v���������̼��g(sh��)����Ӽ��g(sh��)������ʮ����Ҫ������,����Ӽ��g(sh��)�ĺ����Ǽ����·,���������·�����a(ch��n)���乤ˇ�h(hu��n)����ˇ�����еă������g(sh��)���O(sh��)������ˇ����Ҫ���҇�“����”���g�����l(f��)չ����Ӟ����c����Ϣ�a(ch��n)�I(y��),���������̼��g(sh��)ˮƽ��ij�N���x���ѳɞ����һ�����Һ͵^(q��)�ƌW(xu��)���g(sh��)ˮƽ���I(y��)ˮƽ��һ����Ҫ��־,��
�S���҇���������ˮƽ��ߣ��˂�������h(hu��n)���������|(zh��)�������Խ��Խ��Ҫ��,����ˮ�����O(sh��)���Ƃ�ĸ�ˮ���ܵ��˂��ձ�gӭ,���������̼��g(sh��)���_ʼ�M��ǧ���f�����M���˂��ĬF(xi��n)������,��
�҇��ĝ������g(sh��)���O(sh��)���c�������M������Ȳ�������@��,���҇�1965����_ʼ���a(ch��n)��HEPA�^�V��,���ȇ�������ʮ���ꡣ1975���_ʼ���a(ch��n)�Ĺ�ɢ��m������Ӌ��(sh��)���ȇ������˶�ʮ��,��0��1�ם������g(sh��)���O(sh��)���ڇ��H�����M�����ѳɞ���켼�g(sh��),���҇��t������
��������I(y��)���M���Ҟ��m��(y��ng)�������g(sh��)�İl(f��)չ,��������ʹ�õĸ�Ч�^�V�����о���δ�Д�,�������һֱ���_�l(f��)��ͬ�Y(ji��)��(g��u)��ͬ���ܵ��®a(ch��n)Ʒ��������1979���_ʼ���� 0��1��ULPA�^�V��,��1984������AAF��˾�_ʼ���a(ch��n)0��1�ןo����ULPA�^�V��,��Ŀǰ0��1��ULPA�^�V��������AAF��˾�� FLANDERS��˾��CAMBRIDGE��˾���γ���Ʒ�����a(ch��n),���ձ�Ҳ�ѳɞ����������a(ch��n)0��1��ULPA�^�V���S�����ć���,��Ʒ�N���࣬�a(ch��n)Ʒϵ�л�,�������ǵ͉��p��0��1��ULPA�^�V�����_�l(f��)�ɹ���Q�˳�������ļ��g(sh��)�y�},�����H�Ј�����Ч�՚��^�V�����������ܴ���ÿ��������L,��Ŀǰ�ձ�ÿ���N�۳��^100�f�_,����ÿ�_ƽ���r��200��ԪӋ�㣬�N���~�_2�|��Ԫ,���҇���Ч�՚��^�V���Ј��������ѽӽ�ÿ��10�f�_,��ռ���H�Ј���2��~4����������߀�]��0��1��ULPA�^�V�����a(ch��n),�����ڳ���Ҏ(gu��)ģ�����·���a(ch��n)����S�������N�߿Ƽ��I(l��ng)��S����0��1��ULPA�^�V��Ŀǰ߀Ҫ��ه�M��,��
�ڝ����ҽ��O(sh��)Ҏ(gu��)ģ�ͼ��g(sh��)ˮƽ�ϣ��҇��c���M���Ҳ�����,���ձ���ˮ���O(sh��)��˾һ��,��1982�굽1987�����g�н��ĝ�������e�_71��8�fƽ���ף����҇�Ŀǰһ��н��ĝ����ҿ���e߀����10�fƽ����,�����������g���^��l(f��)չ,��1993��н������ҿ���e�ѽӽ�15�fƽ���ס������ĝ����ҽ��O(sh��)Ҏ(gu��)ģ����,��1998��y(t��ng)Ӌ���_188��5�fƽ����,���ڝ������̼��g(sh��)ˮƽ�ϣ�80���ĩ��,�������Ѵ�������0��1���ij�����,��1987���ձ������a��������ʮ������S��3000ƽ���ף�NITԭľ�t�������Ă�1000ƽ������0��1�m����ǧ���S��,���Q��Δ�(sh��)���_300�Σ���,���������_����TSMCS�S�ѽ��ɵ��Ĵ��ܵ�ʽ�����ҿ���e�_10000ƽ����,���҇�ʹ�õ�0��1��ʮ����������Ҫ��ه�ć����M��,�����ڸߝ������e�ĝ�������rʮ�ְ��F,��0��1 ��ʮ��������ÿƽ������r���_1�f��Ԫ���ϡ��ڴ�Ҏ(gu��)ģ�����·�����b���Ͷ�Y�Н���S��ռ���ஔ�ߵı���,���@�c�����·��ˇ�������,���a(ch��n)Ʒ����?li��n)Q������Խ��Խ��İl(f��)չڅ�ݲ����m��(y��ng)�������Ƽs�˴�Ҏ(gu��)ģ�����·���g(sh��)�İl(f��)չ,������ASYST��˾��
��MW��˾�l(f��)չ��ʹ�ø��x���g(sh��)�ā������a(ch��n)�h(hu��n)��ϵ�y(t��ng)�O(sh��)��ͼ��g(sh��)�ڽ������еõ��V������,��ԓ����µĝ������g(sh��)��100�������ȵĝ���S����,�����ù�ˇ�O(sh��)��ֲ�ʹ�ø��x���g(sh��)���h(hu��n)������Ͷ�Y�������s�����e���h(hu��n)��,�������˲������c��ˇ�O(sh��)���\�еĶ�����ȾԴ�a(ch��n)���������·��Ʒ�ʺͿɿ��Ե�Ӱ�����,��
�������g(sh��)���b��ć��H�Ј�ʮ�־��ձ���80���ĩ,��90������������g(sh��)���O(sh��)����N���~��ͻ��35�|��Ԫ,�����������W�����M���ҝ����O(sh��)��ͻ��A(ch��)�������N���~���_73�|��Ԫ����(j��)�Ї���ӌ����O(sh��)�乤�I(y��)�f(xi��)���y(t��ng)Ӌ,���҇���Ҫ�˼����ă����O(sh��)��S���N���~1990���8217�fԪ,��߀����1�|��1993���_�� 14495�fԪ,��ռ���H�Ј��N���~��0��34��,�����S���҇����¼��g(sh��)��Ѹ�ٰl(f��)չ����ӹ��I(y��)�����w���I(y��),��Һ���@ʾ���I(y��)������������I(y��),�����﹤�̡��t(y��)ˎ���I(y��)�İl(f��)չ,���҇����ڵľ�ĝ������g(sh��)�a(ch��n)Ʒ�Ј�,����ÿ��40��~50�������L�ٶ������ӡ�
ʹ����“��һ��”��������“���v�h(hu��n)���W(w��ng)”
